[實用新型]一種提高碳化硅晶體拋光的供給藥液裝置

有效

• 申請號: 201721457428.4
• 申請日: 2017-11-06
• 公開（公告）號: CN207495287U
• 公開（公告）日: 2018-06-15
• 發明（設計）人: 陳文鵬
• 申請（專利權）人: 福建北電新材料科技有限公司
• 主分類號: B24B57/02
• 分類號: B24B57/02;B24B57/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種提高碳化硅晶體拋光的供給藥液裝置，包括拋光裝置(1)、第一藥液桶(5)、抽液裝置(8)和第二藥液桶(11)，其特征在于：所述抽液裝置(8)與輸液管(9)連接在一起，且抽液裝置(8)通過管道與兩側的第一藥液桶(5)和第二藥液桶(11)相連接，所述第一藥液桶(5)通過管道與拋光裝置(1)相連接，且第二藥液桶(11)通過管道與拋光裝置(1)相連接，所述拋光裝置(1)與拋光液回流管(2)相連接，且拋光液回流管(2)上端固定有第三控制閥(14)，所述拋光液回流管(2)上開設有槽口(13)，且槽口(13)上安裝有過濾槽(4)，所述過濾槽(4)內部設置有濾芯(3)，且過濾槽(4)下方設置有第二控制閥(12)。

2.根據權利要求1所述的一種提高碳化硅晶體拋光的供給藥液裝置，其特征在于：所述拋光液回流管(2)上開設有兩個槽口(13)，且槽口(13)上均安裝有內部帶有濾芯(3)的過濾槽(4)，同時兩個過濾槽(4)下方與第一藥液桶(5)和第二藥液桶(11)上端相對應。

3.根據權利要求1所述的一種提高碳化硅晶體拋光的供給藥液裝置，其特征在于：所述拋光液回流管(2)下方設置的槽口(13)上安裝的過濾槽(4)為可拆卸結構，且過濾槽(4)內部安裝的濾芯(3)為開拆卸清洗結構。

4.根據權利要求1所述的一種提高碳化硅晶體拋光的供給藥液裝置，其特征在于：所述第一藥液桶(5)和第二藥液桶(11)側面均安裝有液位監測管(10)，且第一藥液桶(5)和第二藥液桶(11) 下方均安裝有底部相連通的廢液收集接口(7)，同時第一藥液桶(5)和第二藥液桶(11)下方管道上安裝有第一閥門(6)。

5.根據權利要求1所述的一種提高碳化硅晶體拋光的供給藥液裝置，其特征在于：所述第一藥液桶(5)和第二藥液桶(11)與抽液裝置(8)相連接的管道上安裝有控制閥，且第一藥液桶(5)和第二藥液桶(11)與拋光裝置(1)相連接的管道上安裝有控制閥。