[實用新型]掩膜板

有效

• 申請號: 201721423403.2
• 申請日: 2017-10-31
• 公開（公告）號: CN207331040U
• 公開（公告）日: 2018-05-08
• 發明（設計）人: 張微;曹鵬
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 姜春咸;陳源

本實用新型提供一種掩膜板，包括掩膜板本體，所述掩膜板本體上設置有掩膜圖形，所述掩膜板本體包括相對的第一表面和第二表面，所述第一表面上設置有凹槽，所述凹槽位于所述掩膜圖形以外的區域，所述凹槽底部設置有貫穿所述掩膜板本體的第一通孔。本實用新型能夠提高蒸鍍時掩膜板的對位精度，從而改善蒸鍍效果。

技術領域

本實用新型涉及顯示裝置的制作領域，具體涉及一種掩膜板。

背景技術

噴墨打印技術(Inkjet Printing，IJT)是有機電致發光顯示基板的制作過程中常用技術，利用噴墨打印在顯示區形成整層結構(如，陰極層)時，通常會使用開放式的掩膜板(Open Mask)，該掩膜板上設置有多個蒸鍍開口。在蒸鍍時，可以利用蒸鍍源和所述開放式掩膜板對具有多個顯示區的基板進行蒸鍍，掩膜板上的每個蒸鍍開口對應于基板上的一個顯示區。因此，掩膜板的制作精度和對位精度直接影響著顯示產品的質量。

目前，通常采用在掩膜板上設置對位孔、在基板上設置對位標記的方式，將掩膜板與基板進行對位。但由于掩膜板的厚度較大，因此，受到工藝條件的限制，掩膜板上制作的對位孔的精度較低，且難以制作出尺寸較小的對位孔，從而影響對位精度，進而影響蒸鍍效果。

實用新型內容

本實用新型旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一，提出了一種掩膜板，提高蒸鍍時掩膜板的對位精度，從而改善蒸鍍效果。

為了解決上述技術問題之一，本實用新型提供一種掩膜板，包括掩膜板本體，所述掩膜板本體上設置有掩膜圖形，所述掩膜板本體包括相對的第一表面和第二表面，所述第一表面上設置有凹槽，所述凹槽位于所述掩膜圖形以外的區域，所述凹槽底部設置有貫穿所述掩膜板本體的第一通孔。

優選地，所述掩膜板還包括設置在所述凹槽內的掩膜條，所述掩膜條的厚度小于位于所述凹槽以外的掩膜板本體的厚度，所述掩膜條上設置有與所述凹槽底部的第一通孔一一對應的第二通孔，所述第一通孔朝向所述掩膜條的投影區域完全覆蓋所述第二通孔所在區域。

優選地，所述掩膜條的背離所述第一通孔的表面低于或平齊于所述掩膜板本體的第一表面。

優選地，所述凹槽與所述掩膜條一一對應，且所述凹槽的延伸方向與所述掩膜條的延伸方向相同，所述凹槽底部設置有多個所述第一通孔。

優選地，所述掩膜板本體的厚度在270μm～330μm之間；所述掩膜條的厚度在30μm～50μm之間。

優選地，所述第二通孔的開口尺寸在95μm～105μm之間。

優選地，所述凹槽的寬度在5mm～6mm之間。

優選地，所述第一通孔的開口尺寸在3mm～4mm之間。

優選地，所述掩膜板還包括安裝框架，所述掩膜板本體固定在所述安裝框架上。

優選地，所述掩膜圖形為貫穿所述掩膜板本體的蒸鍍開口，所述掩膜板本體上設置有多個所述掩膜圖形，多個所述掩膜圖形排成多行多列，所述掩膜板本體上設置有多個所述凹槽，每個所述凹槽沿所述掩膜圖形排列的列方向延伸，每相鄰兩個所述凹槽之間設置有多個所述掩膜圖形。