[實用新型]噴頭組件和處理腔室

有效

• 申請號: 201721410228.3
• 申請日: 2017-10-27
• 公開（公告）號: CN207690758U
• 公開（公告）日: 2018-08-03
• 發明（設計）人: T·J·富蘭克林;S·E·巴巴揚;P·A·克勞思
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01L21/67;H01L21/3065
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 侯穎媖;金紅蓮

1.一種噴頭組件，包括：

氣體分配板，所述氣體分配板具有頂表面和底表面；以及

一個或多個溫度檢測組件，所述一個或多個溫度檢測組件與所述氣體分配板的所述頂表面接觸，每個溫度檢測組件包括：

突出特征，所述突出特征與所述氣體分配板的所述頂表面接觸；以及

溫度探測器，所述溫度探測器定位在所述突出特征中。

2.如權利要求1所述的噴頭組件，其進一步包括：

氣體板，所述氣體板具有頂表面和底表面，所述氣體板具有從所述頂表面和所述底表面穿過所述氣體板形成的一個或多個開口，所述氣體板的所述底表面定位在所述氣體分配板的所述頂表面之上，使得每個溫度檢測組件的所述突出特征延伸穿過所述氣體板的所述開口。

3.如權利要求2所述的噴頭組件，其進一步包括：

冷卻板，所述冷卻板具有頂表面和底表面，所述冷卻板具有一個或多個開口，所述一個或多個開口從所述頂表面形成到所述底表面，所述冷卻板的所述底表面定位在所述氣體板的所述頂表面之上，使得每個溫度檢測組件的所述突出特征延伸穿過所述冷卻板的所述開口。

4.如權利要求3所述的噴頭組件，其中每個突出特征的頂表面包括探測器支撐件，所述探測器支撐件被配置為將所述溫度探測器支撐于所述突出特征內和所述冷卻板上方。

5.如權利要求1所述的噴頭組件，其中所述噴頭組件進一步包括：

一個或多個絕緣套筒，其中每個絕緣套筒至少部分環繞所述突出特征。

6.如權利要求1所述的噴頭組件，其中所述氣體分配板包括多個通孔，所述多個通孔布置在所述氣體分配板上的一個或多個區中。

7.如權利要求6所述的噴頭組件，其中所述一個或多個溫度檢測組件定位在所述氣體分配板上的在所述一個或多個區之外的區域中。

8.如權利要求1所述的噴頭組件，其中所述突出特征中的至少一者被軸向加載以推動所述氣體分配板抵靠所述氣體板。

9.如權利要求1所述的噴頭組件，其進一步包括：

突出特征，所述突出特征與所述氣體分配板的所述頂表面接觸，并且不與溫度探測器對接，所述突出特征被軸向加載以推動所述氣體分配板抵靠所述氣體板。

10.如權利要求1所述的噴頭組件，其中所述突出特征中的至少一些布置在與所述氣體分配板同心的環中。

11.如權利要求1所述的噴頭組件，其中所述溫度檢測組件和所述氣體分配板由單一主體形成。

12.一種處理腔室，包括：

基板支撐構件，所述基板支撐構件被配置為支撐基板；以及

噴頭組件，所述噴頭組件包括：

氣體分配板，所述氣體分配板具有頂表面和底表面；以及

一個或多個溫度檢測組件，所述一個或多個溫度檢測組件與所述氣體分配板的所述頂表面對接，每個溫度檢測組件包括：

突出特征，所述突出特征與所述氣體分配板的所述頂表面結合；以及

溫度探測器，所述溫度探測器定位在所述突出特征中。

13.如權利要求12所述的處理腔室，其進一步包括：

氣體板，所述氣體板具有頂表面和底表面，所述氣體板具有從所述頂表面和所述底表面穿過所述氣體板形成的一個或多個開口，所述氣體板的所述底表面是定位在所述氣體分配板的所述頂表面之上，使得每個溫度檢測組件的所述突出特征延伸穿過所述氣體板的所述開口。