[實用新型]ITO靶材燒結爐

有效

• 申請號: 201721401273.2
• 申請日: 2017-10-27
• 公開（公告）號: CN207365687U
• 公開（公告）日: 2018-05-15
• 發明（設計）人: 王雪濤;馬春元;王新會;劉浩
• 申請（專利權）人: 河北惟新科技有限公司
• 主分類號: F27B5/04
• 分類號: F27B5/04;F27B5/06;F27B5/14;F27B5/16;F27D9/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種ITO靶材燒結爐，包括爐架，爐架的上支架上架設有爐體，爐體內設置有保溫層；爐架的下支架上設置有定位導軌，定位導軌之間的爐架內設置有用于放置待燒結ITO靶材坯體的升降架；所述爐體上還設置有氣氛控制系統、加熱控制系統以及主控制器；所述爐體和保溫層之間還設置有水冷夾套，爐體上設置有控制水冷夾套進行冷卻作業的水冷控制系統，所述水冷控制系統的受控端連接主控制器的輸出端。本實用新型能夠使爐膛內的溫度快速地上升或下降，進而實現快速并精確地調節升降溫速率的目的，使ITO靶材在燒結過程中的晶粒、孔隙、致密度均達到最佳狀態，大大提高了ITO靶材的燒結質量。

技術領域

本實用新型涉及ITO靶材生產技術領域，特別是一種ITO靶材燒結爐。

背景技術

隨著科技的迅速發展，電子行業在市場中占據巨大的份額，電子行業市場中很多電子產品都用到了平面顯示器，例如平面顯示器、液晶電腦、液晶電視等等。ITO靶材是三氧化二銦和二氧化錫的混合物，是ITO薄膜制備的重要原料，ITO靶材因其具有較高的耐熱沖擊性能、導熱率和機械強度，并且電阻率較低，還能夠提高電子產品的使用壽命，因此作為主要材料應用于平面液晶顯示器的制造，在電子工業、信息產業方面有著廣闊而重要的應用。ITO靶材坯體制備成型后需要經過燒結才能作為基礎材料生產電子產品。

中國專利CN104296529B公開了一種可用于ITO靶材燒結的氣氛鐘罩爐，用于燒結ITO靶材坯體；包括爐體、爐架、冷卻系統、氣氛控制調節系統和溫度控制系統，冷卻系統包括離心風機、空氣過濾器和冷卻風管路。該氣氛鐘罩爐由于采用的是氣體冷卻方式，存在以下缺陷：1）冷卻氣體直接進入爐膛進行冷卻，由于冷卻氣體中含有氧氣，因此爐膛內的氣氛無法進行準確調節，對ITO靶材的燒結質量產生一定的影響；2）冷卻氣體直接進入爐膛后會與提供氧氣的氣氛控制調節系統輸出的氣體產生紊流，影響ITO靶材的燒結質量；3）降溫速度較慢，延長了燒結周期，不僅造成了人力、物力、財力的浪費，更重要的是影響了ITO靶材的燒結質量。

實用新型內容

本實用新型需要解決的技術問題是提供了一種用于ITO靶材燒結的燒結爐，能夠精確、快速調節燒結爐的溫度，為提高ITO靶材的燒結質量提供可靠保證。

為解決上述技術問題，本實用新型所采取的技術方案如下。

ITO靶材燒結爐，包括由下支架和上支架構成的爐架，爐架的上支架上架設有爐體，爐體內設置有保溫層；爐架的下支架上設置有定位導軌，定位導軌之間的爐架內設置有在定位導軌上上下移動、用于放置待燒結ITO靶材坯體的升降架；所述爐體上還設置有向爐膛內通入氧氣的氣氛控制系統、用于控制爐膛內加熱溫度的加熱控制系統以及用于控制氣氛控制系統和加熱控制系統協調作業的主控制器；所述爐體和保溫層之間還設置有水冷夾套，爐體上設置有控制水冷夾套進行冷卻作業的水冷控制系統，所述水冷控制系統的受控端連接主控制器的輸出端。

上述ITO靶材燒結爐，所述水冷控制系統包括冷卻水源、連通冷卻水源與水冷夾套底部的進水管、設置在水冷夾套上部的出水管以及設置在進水管上的水冷控制器，所述水冷控制器的受控端連接主控制器的輸出端。

上述ITO靶材燒結爐，所述加熱控制系統包括電源、爐膛溫度控制器、移相調功器、隔離降壓變壓器、加熱硅鉬棒以及設置在爐體頂部的熱電偶，所述電源的輸出端依次連接移相調功器、隔離降壓變壓器和加熱硅鉬棒，移相調功器的受控端連接爐膛溫度控制器的輸出端；所述主控制器的輸入端連接熱電偶的輸出端，主控制器的輸出端連接爐膛溫度控制器的受控端。

上述ITO靶材燒結爐，所述加熱硅鉬棒設置有多根，多根加熱硅鉬棒在爐膛內環形設置在待燒結ITO靶材的周側。