[實用新型]插片機石英位原點磁性感應器防護罩有效
| 申請號: | 201721351701.5 | 申請日: | 2017-10-19 |
| 公開(公告)號: | CN207409461U | 公開(公告)日: | 2018-05-25 |
| 發明(設計)人: | 鐘清海 | 申請(專利權)人: | 四川英發太陽能科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 廖慧敏 |
| 地址: | 610000 四川省成都市中國(四川)自*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 石英 磁性感應器 原點 橫向延伸 延伸片 防護罩 原點感應器 插片機 中空框架結構 本實用新型 一體成型的 包圍結構 結構形狀 縱截面 側壁 適配 下端 支架 防護 側面 延伸 | ||
1.插片機石英位原點磁性感應器防護罩,其特征在于:包括支柱(2)、支柱(2)的側面設有橫向延伸件(1),橫向延伸件(1)的橫截面為長方形;橫向延伸件(1)的下端設有與橫向延伸件(1)一體成型的延伸片(6),延伸片(6)為中空框架結構,延伸片(6)與支柱(2)之間形成凹槽(3);支柱(2)的縱截面為長方形,且支柱(2)的兩端設有支架(5);石英位原點感應器安裝在插片機的側壁上,且石英位原點感應器通過延伸片(6)延伸到凹槽(3)內,位于凹槽(3)外側的支柱(2)對石英位原點感應器形成包圍結構。
2.根據權利要求1所述的插片機石英位原點磁性感應器防護罩,其特征在于:所述支架(5)為長方形片狀結構,支架(5)通過螺栓固定在插片機的側壁上。
3.根據權利要求2所述的插片機石英位原點磁性感應器防護罩,其特征在于:所述插片機的外側面(7)上設有固定支柱(8),石英原點磁性感應器包括與固定支柱(8)連接的固定塊(9),固定塊(9)上設有工作件(10),工作件(10)凸出于固定塊(9),所述支柱(2)的豎直長度大于固定塊(9)的豎直長度。
4.根據權利要求3所述的插片機石英位原點磁性感應器防護罩,其特征在于:所述固定塊(9)為U型槽結構,且固定塊(9)與固定支柱(8)卡合連接。
5.根據權利要求4所述的插片機石英位原點磁性感應器防護罩,其特征在于:所述石英位原點磁性感應器的個數為大于等于兩個,且石英位原點磁性感應器均安裝在固定支柱(8)上,支柱(2)與固定支柱(8)平行的邊的橫向長度大于等于多個石英位原點磁性感應器中固定塊(9)的長度與固定塊(9)之間間距的總長度。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





