[實用新型]一種曝光機

有效

• 申請號: 201721282428.5
• 申請日: 2017-09-30
• 公開（公告）號: CN207181952U
• 公開（公告）日: 2018-04-03
• 發明（設計）人: 張康;渠謙;盧兵;徐鐘國;房曉梅
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02F1/13;G02F1/1335;G02F1/1343
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司11291
• 代理人: 郭潤湘

1.一種曝光機，其特征在于，包括：光源，掩膜版，以及位于所述光源和所述掩膜版之間的光強調節器；其中，

所述光強調節器，用于調節所述光源射向所述掩膜版上不同位置處的光線的光強。

2.如權利要求1所述的曝光機，其特征在于，所述光強調節器，包括：第一透明基板，位于所述第一透明基板遠離所述光源一側的第二透明基板，位于所述第一透明基板和所述第二透明基板之間的液晶層，以及用于調節所述液晶層上不同位置處的光透過率的控制單元；

所述第一透明基板遠離所述液晶層的一側設有第一偏光層；

所述第二透明基板遠離所述液晶層的一側設有第二偏光層；

所述第一偏光層與所述第二偏光層的光軸相互垂直。

3.如權利要求2所述的曝光機，其特征在于，所述控制單元，包括：位于所述第一透明基板與所述第一偏光層之間的第一透明電極層，位于所述第二透明基板與所述第二偏光層之間的第二透明電極層，以及信號源；其中，

所述第一透明電極層，包括：多個第一透明電極；各所述第一透明電極分別通過導線與所述信號源連接；

所述第二透明電極層，包括：多個與所述第一透明電極一一對應的第二透明電極；各所述第二透明電極分別通過導線與所述信號源連接。

4.如權利要求3所述的曝光機，其特征在于，所述第一透明電極與對應的所述第二透明電極形狀一致。

5.如權利要求4所述的曝光機，其特征在于，各所述第一透明電極為并排設置的條狀電極。

6.如權利要求4所述的曝光機，其特征在于，各所述第一透明電極為呈陣列排布的塊狀電極。

7.如權利要求2所述的曝光機，其特征在于，所述光強調節器，還包括：位于所述第二偏光層與所述掩膜版之間的第一準直元件。

8.如權利要求1所述的曝光機，其特征在于，還包括：位于所述光源與所述光強調節器之間的第二準直元件。

9.如權利要求1所述的曝光機，其特征在于，還包括：位于所述掩膜版遠離所述光強調節器一側的成像元件。

10.如權利要求1～9任一項所述的曝光機，其特征在于，所述曝光機為投影式曝光機。