[實用新型]一種硅芯清洗臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721277135.8
• 申請日: 2017-09-30
• 公開（公告）號: CN207357668U
• 公開（公告）日: 2018-05-15
• 發(fā)明（設計）人: 呂獻濤;楊紅兵;任冰潔
• 申請（專利權）人: 河南恒星新材料有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B13/00
• 代理公司: 鄭州大通專利商標代理有限公司 41111
• 代理人: 陳大通

本實用新型屬于多晶硅硅芯清洗技術領域,具體的說是涉及一種硅芯清洗臺,主要是為了提供一種結構簡單方便且特別適用于小型硅芯清洗的硅芯清洗臺，該硅芯清洗臺包括U型結構的臺座本體,在臺座本體的左右兩端面內側還分別設置有卡接槽，在臺座本體左右兩端面內側設置的卡接槽內還均布對稱設置有彈性卡盤，在臺座本體左右兩端面內側的卡接槽之間堆疊放置有多個硅芯清洗卡盤；該硅芯清洗卡盤卡接在卡接槽內的彈性卡盤之間，在該臺座本體的兩端部和底部還分別設置有定位通孔，本實用新型提供的硅芯臺有效的保證了在硅芯清洗后硅芯裝夾部位不會殘留沉料，有效的保證了硅芯人工清洗的潔凈度等級。

技術領域

本實用新型屬于多晶硅硅芯清洗技術領域；具體的說是涉及一種硅芯清洗臺。

背景技術

多晶硅屬于單質硅的一種形態(tài)；其在高溫熔融狀態(tài)下，具有較大的化學活潑性，能與幾乎任何材料作用；具有半導體性質，是極為重要的優(yōu)良半導體材料；多晶硅又是生產單晶硅的直接原料，是當代人工智能、自動控制、信息處理、光電轉換等半導體器件的電子信息基礎材料；多晶硅的生產技術主要為改良西門子法和硅烷法，西門子法則主要通過氣相沉積的方式生產柱狀多晶硅，硅芯作為改良西門子法工藝生產多晶硅，還原爐內多晶硅料沉積的載體，它的表面潔凈程度直接影響到多晶硅成品的品質；硅芯在清洗的過程中主要是通過人工沖洗后然后進入酸洗機內進行酸洗清洗來達到清洗的目的；然而在目前進行人工清洗的過程中，沒有良好的硅芯夾持清洗平臺，所以提供一種結構簡單適用硅芯清洗臺就顯的非常的必要。

發(fā)明內容

本實用新型的發(fā)明目的：

主要是為了提供一種結構簡單方便且特別適用于小型硅芯清洗的硅芯清洗臺，使得硅芯在人工清洗的過程中得到可靠的裝夾固定，同時有效的保證在硅芯清洗后硅芯裝夾部位不會殘留沉料，有效的保證了硅芯人工清洗的潔凈度等級，同時有效的提高了硅芯的清洗效率，降低了工人的勞動強度，提高了企業(yè)的經(jīng)濟效益。

本實用新型的技術方案為：

提供了一種硅芯清洗臺,該硅芯清洗臺包括U型結構的臺座本體,在臺座本體的左右兩端面內側還分別設置有卡接槽，在臺座本體左右兩端面內側設置的卡接槽內還均布對稱設置有彈性卡盤，在臺座本體左右兩端面內側的卡接槽之間堆疊放置有多個硅芯清洗卡盤；，該硅芯清洗卡盤卡接在卡接槽內的彈性卡盤之間，在該臺座本體的兩端部和底部還分別設置有定位通孔。

所述的硅芯清洗卡盤上設置有多個硅芯卡槽，其中每個硅芯卡槽的底部設置為三角形卡底。

在每個硅芯卡槽的底部設置的三角形卡底為等腰三角形，且腰長為14mm。

在硅芯清洗卡盤上三角形卡底的下部還設置有海綿層。

在每一個硅芯清洗卡盤的底部兩端還分別設置有提拉孔。

本實用新型的有益效果是：

該硅芯清洗臺結構簡單方便且特別適用于小型硅芯的人工清洗，使得硅芯在人工清洗的過程中不但可以得到可靠的裝夾固定，同時還有效的保證了在硅芯清洗后硅芯裝夾部位不會殘留沉料，有效的保證了硅芯人工清洗的潔凈度等級，同時有效的提高了硅芯的清洗效率，降低了工人的勞動強度，提高了企業(yè)的經(jīng)濟效益。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型的臺座本體的結構示意圖；

圖3為本實用新型的硅芯清洗卡盤的結構示意圖。

圖中；1為臺座本體；2為卡接槽；3為彈性卡盤；4為硅芯清洗卡盤；5為定位通孔；6為硅芯卡槽；7為三角形卡底；8為海綿層；9為提拉孔。

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式做出詳細的描述。