[實用新型]一種真空設備用可伸縮氣體源裝置

有效

• 申請號: 201721259910.7
• 申請日: 2017-09-28
• 公開（公告）號: CN207452251U
• 公開（公告）日: 2018-06-05
• 發明（設計）人: 李昕;史浩飛;楊小東;唐文新
• 申請（專利權）人: 中國科學院重慶綠色智能技術研究院;重慶大學
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 北京同恒源知識產權代理有限公司 11275
• 代理人: 趙榮之

1.一種真空設備用可伸縮氣體源裝置，其特征在于，包括：

固定座(10)，與所述真空設備的高真空腔室(14)通過真空密封法蘭(13)固接；

毛細氣管(1)，與固定座通過伸縮機構相連，用于向所述的高真空腔室噴射外部氣體源；

伸縮機構，由至少兩節伸縮管(4)、彈簧(5)、拉伸絲(7)、繞線輥(8)、旋轉裝置(9)組成，多節所述伸縮管的一端通過圓環(2)與毛細氣管密封連接，另一端通過卡套(6)與固定座密封連接，所述彈簧設于伸縮管內，所述拉伸絲設于伸縮管外，一端與圓環相連，另一端自多節伸縮管的遠端向近端依次穿過多個卡套后接入繞線輥上，所述繞線輥可轉動的設于固定座上，由所述的旋轉裝置控制其轉動；

微型電動閥(3)，固定在圓環上，用于毛細氣管連通與之相接的伸縮管；

外部氣體連接管(11)，與伸縮管相對于固定座異側布置，且與伸縮管連通，用于接駁所述的外部氣體源；

電極導入裝置(12)，與伸縮管相對于固定座異側布置，用于接駁外部電源。

2.根據權利要求1所述的真空設備用可伸縮氣體源裝置，其特征在于，相鄰的兩節伸縮管的連接處設置有所述的卡套。

3.根據權利要求1所述的真空設備用可伸縮氣體源裝置，其特征在于，所述伸縮管的外表面上設置有電磁屏蔽膜。

4.根據權利要求1所述的真空設備用可伸縮氣體源裝置，其特征在于，所述拉伸絲采用金屬或炭纖維材質制成，所述金屬為鉬、鐵或鋼。

5.根據權利要求1所述的真空設備用可伸縮氣體源裝置，其特征在于，所述旋轉裝置為電機。

6.根據權利要求1所述的真空設備用可伸縮氣體源裝置，其特征在于，所述真空密封法蘭為帶角度可調短管的真空密封法蘭，與伸縮管相對于固定座同側布置。

7.根據權利要求6所述的真空設備用可伸縮氣體源裝置，其特征在于，所述繞線輥設于真空密封法蘭的短管內，所述旋轉裝置與繞線輥相對于固定座異側布置。

8.根據權利要求1-7任一項所述的真空設備用可伸縮氣體源裝置，其特征在于，所述電極導入裝置和旋轉裝置均設置在真空罩內。