[實用新型]探針卡和測試系統

有效

• 申請號: 201721240983.1
• 申請日: 2017-09-26
• 公開（公告）號: CN207851121U
• 公開（公告）日: 2018-09-11
• 發明（設計）人: M·羅西;S·M·雷納;G·卡爾卡特拉
• 申請（專利權）人: 意法半導體股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 王茂華

本公開涉及一種探針卡和測試系統。探針卡裝配在用于測試微機電器件的系統中，該微機電器件具有對磁場敏感的元件。探針卡由PCB形成，PCB具有貫通開口以及探針尖端，用于電接觸微機電器件。殼體結構被容納在貫通開口內。殼體結構包括平面外圍區域，該平面外圍區域包圍至少部分地突出且延伸到貫通開口中的座。磁性元件被布置在座中，其中磁性元件被布置以生成測試磁場，該測試磁場用于微機電器件的測試操作。

技術領域

本公開涉及一種用于可磁致動或可電磁致動器件的探針卡，特別是包括可磁致動的振蕩元件的MEMS(微機電系統)器件。MEMS器件可以是微鏡。本公開還涉及包括探針卡的測試機器或系統。

背景技術

具有使用半導體材料技術制造的微鏡結構的微機械器件在本領域中是已知的。

這種微機械器件用于便攜式器件，諸如便攜式計算機、筆記本電腦、筆記本(包括超薄筆記本電腦)、PDA、平板電腦、智能手機，以及用于光學應用，特別是引導使用所需方法的、由光源生成的輻射光束。

憑借小尺寸，通過這種器件在面積和深度方面可以滿足空間占用的嚴格要求。

微鏡器件通常包括懸掛在腔上方的鏡元件，并且由半導體材料體制成，以便例如通過滾動和傾斜移動可移動。

鏡元件的旋轉借助于目前為靜電、電磁或壓電類型的致動系統來控制。

認識到對這些MEMS器件的操作執行測試的需要；然而，目前已知用于測試磁或電磁致動的MEMS器件的系統受到用于測試的磁場發生器和測試機的電子電路(晶片探測器和測試儀)之間的電磁干擾現象的限制。此外，由于難以在這種系統內集成磁場發生器，在制造可用于這種系統中的探針卡中也遇到了問題。

因此，本領域需要一種用于可磁致動或可電磁致動器件的探針卡，以及包括適于克服上述困難和限制的探針卡的測試系統。

發明內容

本公開提供一種探針卡和測試系統，用于測試磁或電磁致動的MEMS器件，能夠克服電磁干擾現象的限制。

根據本公開的第一方面，提供一種在用于測試可磁致動器件的系統中使用的探針卡，該探針卡包括：集成電路板，具有在該探針卡的探針尖端處的第一貫通開口；殼體結構，包括平面區域，該平面區域包圍至少一個座，該至少一個座從該平面區域突出并且至少部分地延伸通過該第一貫通開口；以及磁性元件，被布置在該殼體結構的每個座中，所包括的該磁性元件被配置成生成測試磁場，該測試磁場用于在可磁致動器件的測試階段期間磁致動該可磁致動器件。

根據本公開的第二方面，提供一種測試系統，該測試系統包括：卡盤，被布置成支撐半導體材料的晶片，該晶片包括可磁致動器件；探針卡；晶片探針，被機械地耦合到該探針卡，該晶片探針被配置為移動該卡盤，以使該可磁致動器件的選定部分與該探針卡的相應探針尖端電耦合；以及數據處理電路，被電耦合到該探針卡，該數據處理電路被配置為借助于該探針卡來將電測試信號饋送到該可磁致動器件，并且對在該可磁致動器件的磁致動期間、經由該探針卡而從該可磁致動器件接收的響應信號進行處理；其中該探針卡包括：集成電路板，具有在該探針卡的探針尖端處的第一貫通開口；殼體結構，包括平面區域，該平面區域包圍至少一個座，該至少一個座從該平面區域突出并且至少部分地延伸通過該第一貫通開口；以及磁性元件，被包括在每個座內，所包括的該磁性元件被配置為生成測試磁場，該測試磁場用于在該可磁致動器件的測試階段期間磁致動該可磁致動器件。