[實(shí)用新型]探針卡和測試系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721240983.1
• 申請日: 2017-09-26
• 公開（公告）號: CN207851121U
• 公開（公告）日: 2018-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: M·羅西;S·M·雷納;G·卡爾卡特拉
• 申請（專利權(quán)）人: 意法半導(dǎo)體股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 王茂華

1.一種在用于測試可磁致動器件的系統(tǒng)中使用的探針卡，其特征在于，包括：

集成電路板，具有在所述探針卡的探針尖端處的第一貫通開口；

殼體結(jié)構(gòu)，包括平面區(qū)域，所述平面區(qū)域包圍至少一個(gè)座，所述至少一個(gè)座從所述平面區(qū)域突出并且至少部分地延伸通過所述第一貫通開口；以及

磁性元件，被布置在所述殼體結(jié)構(gòu)的每個(gè)座中，所包括的所述磁性元件被配置成生成測試磁場，所述測試磁場用于在可磁致動器件的測試階段期間磁致動所述可磁致動器件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其中所述至少一個(gè)座包括至少三個(gè)座，其中所述至少三個(gè)座彼此相鄰地延伸，并且其中每個(gè)座安置相應(yīng)的磁性元件，所包括的所述磁性元件被相互布置以便生成磁場，所述磁場在所述可磁致動器件的方向上具有第一強(qiáng)度，并在相反方向上具有低于所述第一強(qiáng)度的第二強(qiáng)度。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的探針卡，其特征在于，所包括的所述磁性元件被相互布置以形成海爾貝克陣列。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，還包括鐵磁材料的蓋，所述鐵磁材料的蓋被布置在所述至少一個(gè)座上以及在所述至少一個(gè)座內(nèi)的所述磁性元件上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，還包括：

非磁性材料的蓋，被布置在所述至少一個(gè)座上以及在所述至少一個(gè)座內(nèi)的所述磁性元件上；以及

μ-金屬的屏蔽層，在所述蓋的上方延伸。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，還包括：

支撐結(jié)構(gòu)，展示出第二貫通開口和至少部分包圍所述第二貫通開口的側(cè)壁，所述側(cè)壁被設(shè)置有相應(yīng)的第一引導(dǎo)件；以及

第一滑動件，被配置為在所述第一引導(dǎo)件中滑動，

其中所述一個(gè)或多個(gè)座延伸通過所述第二貫通開口。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的探針卡，其特征在于，所述支撐結(jié)構(gòu)具有被所述側(cè)壁包圍的底側(cè)，并且其中所述殼體結(jié)構(gòu)的所述平面區(qū)域在所述底側(cè)和所述第一滑動件之間延伸，所述第二貫通孔延伸通過所述底側(cè)。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的探針卡，其特征在于，所述第一引導(dǎo)件由所述側(cè)壁中的相應(yīng)的凹部形成，所述第一滑動件具有錐形的外圍區(qū)域，所述外圍區(qū)域被配置為在所述凹部中滑動。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述殼體結(jié)構(gòu)包括：

第二引導(dǎo)件，沿與所述至少一個(gè)座延伸的方向相反的方向從所述平面區(qū)域突出，

第二滑動件，被配置為在所述第二引導(dǎo)件中滑動，以便覆蓋以及備選地不覆蓋所述至少一個(gè)座。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的探針卡，其特征在于，所述至少一個(gè)座包括至少九個(gè)座，所述至少九個(gè)座被彼此相鄰地相互布置以形成3x3矩陣結(jié)構(gòu)，所述第二滑動件在關(guān)閉操作期間、以每次覆蓋所述至少九個(gè)座中的一個(gè)座的方式而被模制。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述可磁致動器件包括磁致動懸掛結(jié)構(gòu)，所述磁致動懸掛結(jié)構(gòu)可圍繞第一旋轉(zhuǎn)軸線和第二旋轉(zhuǎn)軸線移動，并且其中所述至少一個(gè)座是多個(gè)座，

所述可磁致動器件、所述集成電路板和所述殼體結(jié)構(gòu)被相互布置成，使所述測試磁場被定向成相對于所述可磁致動器件的所述懸掛結(jié)構(gòu)的所述第一旋轉(zhuǎn)軸線和所述第二旋轉(zhuǎn)軸線成大約45°。