[實用新型]蒸發(fā)源裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721226712.0
• 申請日: 2017-09-22
• 公開（公告）號: CN207418851U
• 公開（公告）日: 2018-05-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 羅鵬;邱林林
• 申請（專利權(quán)）人: 云谷（固安）科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 上海波拓知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31264
• 代理人: 楊波

1.一種蒸發(fā)源裝置(100)，其特征在于，包括：

輔助蒸發(fā)源(50)和圍繞所述輔助蒸發(fā)源(50)設(shè)置的主蒸發(fā)源(10)，所述主蒸發(fā)源(10)和所述輔助蒸發(fā)源(50)分別具有至少一條蒸發(fā)通道(70,80)，所述輔助蒸發(fā)源(50)的蒸發(fā)通道(80)向所述主蒸發(fā)源(10)一側(cè)傾斜延伸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)源裝置，其特征在于，所述輔助蒸發(fā)源(50)的蒸發(fā)通道(80)由起始端至伸出端向與其靠近的所述主蒸發(fā)源(10)一側(cè)傾斜延伸。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)源裝置，其特征在于，所述輔助蒸發(fā)源(50)的蒸發(fā)通道(80)由起始端至伸出端向與其遠(yuǎn)離的所述主蒸發(fā)源(10)一側(cè)傾斜延伸。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的蒸發(fā)源裝置，其特征在于，所述輔助蒸發(fā)源(50)的蒸發(fā)通道(80)起始端至伸出端的連線與豎直方向具有第一傾斜角，所述第一傾斜角大于0°且小于等于30°。

5.如權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)源裝置，其特征在于，所述輔助蒸發(fā)源(50)的蒸發(fā)通道(80)包括第一蒸發(fā)通道(81)和第二蒸發(fā)通道(83)。

6.如權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)源裝置，其特征在于，所述主蒸發(fā)源(10)的蒸發(fā)通道(70)由起始端至伸出端向所述輔助蒸發(fā)源(50)一側(cè)延伸。

7.如權(quán)利要求6所述的蒸發(fā)源裝置，其特征在于，所述主蒸發(fā)源(10)的蒸發(fā)通道(70)起始端至伸出端的連線與豎直方向具有第二傾斜角，所述第二傾斜角大于等于0°且小于等于45°。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的蒸發(fā)源裝置，其特征在于，所述主蒸發(fā)源(10)的蒸發(fā)通道(70)包括第三蒸發(fā)通道和第四蒸發(fā)通道。

9.如權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)源裝置，其特征在于，還包括角度限制板(90)，所述角度限制板(90)支撐調(diào)節(jié)蒸發(fā)通道(70,80)的傾斜角度。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)源裝置，其特征在于，所述蒸發(fā)通道(70，80)構(gòu)造為蒸鍍材料噴嘴。