[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體硅棒全自動(dòng)對(duì)中檢測(cè)機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721207917.4
• 申請(qǐng)日: 2017-09-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207269017U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-04-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曹建偉;傅林堅(jiān);謝永旭;沈文杰;盧嘉彬;徐開(kāi)濤;李林;楊鐵明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 紹興上虞晶信機(jī)電科技有限公司;浙江晶盛機(jī)電股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66;H01L21/68
• 代理公司: 杭州中成專利事務(wù)所有限公司33212
• 代理人: 朱瑩瑩,周世駿

1.一種半導(dǎo)體硅棒全自動(dòng)對(duì)中檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于：包括安裝支架，所述安裝支架上相對(duì)稱的安裝有一對(duì)電缸，所述一對(duì)電缸的滑塊可分別在安裝支架上相對(duì)的上下移動(dòng)，所述電缸與伺服電機(jī)連接，所述電缸的滑塊上安裝氣缸安裝支架，氣缸安裝支架上裝有氣缸，所述氣缸伸出端裝有接觸式傳感器，氣缸帶動(dòng)接觸式傳感器做來(lái)回伸縮運(yùn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體硅棒全自動(dòng)對(duì)中檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述的氣缸伸出端上安裝有用于安裝接觸式傳感器的傳感器安裝支架。