[實用新型]一種單晶硅拉晶爐含油塵富氬尾氣回收系統

有效

• 申請號: 201721189615.9
• 申請日: 2017-09-13
• 公開（公告）號: CN207270975U
• 公開（公告）日: 2018-04-27
• 發明（設計）人: 杜大艷;楊濤;焦文藝;溫俊平;譚宏謂;周軍
• 申請（專利權）人: 湖北和遠氣體股份有限公司
• 主分類號: B01D50/00
• 分類號: B01D50/00
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司31253
• 代理人: 馮子玲

1.一種單晶硅拉晶爐含油塵富氬尾氣回收系統，其特征在于，包括依次管道連接的真空泵(1)、風機(2)、H型管(3)、旋風除塵器(4)、脫油吸附筒(5)和布袋除塵器(6)，所述布袋除塵器(6)出氣口設有氧含量檢測儀(7)，且布袋除塵器(6)出氣口通過兩個分支管道分別連接至副氣囊(9)和主氣囊(12)，兩個分支管道上分別設置第一調節閥(8)和第二調節閥(10)；所述副氣囊(9)通過帶有第三調節閥(11)的管道連通至主氣囊(12)，所述主氣囊(12)通過管道連接至空氣壓縮機；所述氧含量檢測儀(7)電路連接至控制器，所述控制器分別連接第一調節閥(8)、第二調節閥(10)和第三調節閥(11)。

2.如權利要求1所述的一種單晶硅拉晶爐含油塵富氬尾氣回收系統，其特征在于，所述真空泵(1)至風機(2)的出口端保持正壓。

3.如權利要求1所述的一種單晶硅拉晶爐含油塵富氬尾氣回收系統，其特征在于，所述控制器根據氧含量檢測儀(7)的數值控制第一調節閥(8)和第二調節閥(10)的開關，氧含量檢測儀(7)檢測到含氧量≥1％時，第一調節閥(8)打開，第二調節閥(10)關閉；氧含量檢測儀(7)檢測到含氧量＜1％時，第一調節閥(8)關閉，第二調節閥(10)打開。