[實用新型]適宜藍寶石晶體生長用的坩堝移動裝置

有效

• 申請號: 201721180969.7
• 申請日: 2017-09-15
• 公開（公告）號: CN207452300U
• 公開（公告）日: 2018-06-05
• 發明（設計）人: 熊叔增;張志勇;方向華
• 申請（專利權）人: 重慶任丙科技有限公司
• 主分類號: C30B29/20
• 分類號: C30B29/20;C30B35/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種適宜藍寶石晶體生長用的坩堝移動裝置，包括真空裝置、坩堝、加熱裝置、坩堝支撐桿、冷卻控制箱、運動控制箱和控制器，所述真空裝置內安置有坩堝和加熱裝置；所述坩堝的外底中部設有凹槽，在凹槽內固定安裝有垂直的坩堝支撐桿；所述冷卻控制箱上設有冷卻控制裝置和旋轉冷卻水套；所述運動控制箱上設有抽真空裝置及傳動連接的電機和直線運動總成，其直線運動總成上設有沿垂直方向移動的支撐桿套，在支撐桿套上固定設有激振器。本實用新型的坩堝移動裝置，由于采用上述技術方案，因此在激振器的震動作用下排出坩堝內液態原料中的氣泡；由于坩堝的凹槽內溫度傳感器的設置，因此可實現對坩堝溫度的測量與控制。

技術領域

本實用新型涉及晶體生長設備技術領域，具體的說是涉及一種適宜藍寶石晶體生長用的坩堝移動裝置。

背景技術

藍寶石是一種氧化鋁的單晶，又稱為剛玉，其具有優異的光學性能、機械性能和化學穩定性，被廣泛應用于LED照明行業與軍用窗口材料。人工藍寶石是以氧化鋁粉體或碎晶為原料，用晶體生長爐制備而成。然而，在藍寶石晶體生長過程中，坩堝移動機構承擔著坩堝的支撐固定、位置調整、跟蹤運動等作用，而坩堝中則承載著高溫熔溶的藍寶石原料，由于熔溶的藍寶石原料粘度大，其中的氣泡往往不能完全排除，在藍寶石晶體生長時就會進入所生長的藍寶石晶體中，從而影響藍寶石晶體的質量。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種適宜藍寶石晶體生長用的坩堝移動裝置，以克服現有技術中存在氣泡往往不能完全排除，在藍寶石晶體生長時就會進入所生長的藍寶石晶體中的問題。

為了實現上述目的，本實用新型采用的技術方案是：一種適宜藍寶石晶體生長用的坩堝移動裝置，包括真空裝置、坩堝、加熱裝置、坩堝支撐桿、冷卻控制箱、運動控制箱和控制器，所述真空裝置內安置有坩堝和加熱裝置，真空裝置安裝在冷卻控制箱和運動控制箱的上方，在真空裝置上設有抽真空管；所述坩堝的外底中部設有凹槽，在凹槽內固定安裝有垂直的坩堝支撐桿，在坩堝內盛有液態原料；所述加熱裝置為電加熱裝置，加熱裝置位于坩堝的周圍；所述坩堝支撐桿為空心桿；所述冷卻控制箱上設有冷卻控制裝置和旋轉冷卻水套，其旋轉冷卻水套安裝在坩堝支撐桿的下端，旋轉冷卻水套通過冷卻水進出管與冷卻控制裝置連接；所述運動控制箱上設有抽真空裝置及傳動連接的電機和直線運動總成，其抽真空裝置與抽真空管連接，其直線運動總成上設有沿垂直方向移動的支撐桿套，在支撐桿套上固定設有激振器，支撐桿套固定在坩堝支撐桿的外壁上；所述控制器安裝在運動控制箱上，控制器通過導線分別與加熱裝置、冷卻控制箱內的控制電路和運動控制箱內的控制電路電連接。

優選的，所述坩堝的凹槽內設有溫度傳感器，其溫度傳感器位于坩堝支撐桿內，溫度傳感器通過導線與控制器電連接。

進一步，所述坩堝的上方還設有移動籽晶，移動籽晶的下端靠近液態原料的上面。

進一步，所述運動控制箱內的控制電路可控制抽真空裝置、傳動連接的電機和激振器的開啟與關閉。

進一步，所述旋轉冷卻水套上設有透明的觀察窗口。

本實用新型的工作原理是，坩堝內的固態原料被加熱裝置熔化成液態原料，熔化過程中激振器一直保持震動，直到固態原料全部熔化結束，液態原料內部的氣泡受到震動溢出液面，在真空裝置的抽吸作用下氣泡被徹底排除；然后通過運動控制箱上支撐桿套的上下移動，始終保持坩堝內液態原料的液面與移動籽晶配合接觸，移動籽晶進行晶體生長，從而生長出優質藍寶石晶體。

與現有技術相比，本實用新型的益效果是：本實用新型的坩堝移動裝置，由于采用上述技術方案，因此在激振器的震動作用下排出坩堝內液態原料中的氣泡；由于坩堝的凹槽內溫度傳感器的設置，因此可實現對坩堝溫度的測量與控制。本實用新型的坩堝移動裝置結構簡單，制作成本低，能效果提高藍寶石晶體生長的質量。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；