[實用新型]一種管式爐系統有效
| 申請號: | 201721177632.0 | 申請日: | 2017-09-14 |
| 公開(公告)號: | CN207231222U | 公開(公告)日: | 2018-04-13 |
| 發明(設計)人: | 劉卓;賀琦琦;穆德魁;廖信江;陳金昶;馮魁元 | 申請(專利權)人: | 華僑大學 |
| 主分類號: | F27B17/02 | 分類號: | F27B17/02 |
| 代理公司: | 廈門市首創君合專利事務所有限公司35204 | 代理人: | 張松亭 |
| 地址: | 352000 福建省*** | 國省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 管式爐 系統 | ||
1.一種管式爐系統,包括依次連接的工作管、變徑管和四通管,所述工作管一端密封,另一端通過所述變徑管和所述四通管相連接,所述工作管、變徑管和四通管形成的通路包括兩條支路,其特征在于:所述一條支路為稀有氣體通路,所述稀有氣體通路包括依次連接的第一擋板控制閥、第一波紋管和稀有保護氣體罐;所述另一條支路為真空通路,所述真空通路包括依次連接的第二擋板控制閥、第二波紋管、控制系統、雙極選片真空泵和分子泵。
2.根據權利要求1所述的一種管式爐系統,其特征在于:還包括放氣閥和氣壓計,所述氣壓計通過所述放氣閥連接于所述四通管。
3.根據權利要求2所述的一種管式爐系統,其特征在于:所述工作管、四通管、放氣閥、第一波紋管、第二波紋管、第一擋板控制閥和第二擋板控制閥的接頭均為KF25的真空法蘭接頭,所述接頭接口內徑為20-40毫米,所述接頭采用卡箍緊箍。
4.根據權利要求1所述的一種管式爐系統,其特征在于:所述變徑管的接頭為KF16-KF25或KF25-KF40的真空法蘭接頭,所述接頭接口內徑為16-25毫米或25-40毫米,所述接頭采用卡箍緊箍。
5.根據權利要求1所述的一種管式爐系統,其特征在于:所述工作管為石英玻璃管。
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