[實(shí)用新型]一種低清理頻率的高效離子束拋光設(shè)備有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201721173043.5 | 申請(qǐng)日： | 2017-09-13 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN207223557U | 公開(kāi)（公告）日： | 2018-04-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 倪磊;倪晉 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 成都睿坤科技有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | B24B1/00 | 分類(lèi)號(hào)： | B24B1/00 |
| 代理公司： | 成都行之專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙)51220 | 代理人： | 馬碧娜 |
| 地址： | 610000 四川省成都市雙流西*** | 國(guó)省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 清理 頻率 高效 離子束 拋光 設(shè)備 | ||
1.一種低清理頻率的高效離子束拋光設(shè)備，包括放電腔(1)、位于放電腔(1)內(nèi)的陽(yáng)極板(2)、以及設(shè)置在放電腔(1)出口端的若干層格柵板(3)，最外層格柵板(3)上設(shè)置安裝塊(4)，所述安裝塊(4)上設(shè)置鎢絲(5)，所述鎢絲(5)的一端伸出至安裝塊(4)外側(cè)，其特征在于，相鄰兩塊格柵板(3)之間設(shè)置陶瓷連接塊(7)，所述陶瓷連接塊(7)的相對(duì)兩側(cè)分別與兩塊格柵板(3)固定連接；所述安裝塊(4)的側(cè)面設(shè)置一端敞口的凹槽(6)，所述凹槽(6)的敞口方向朝向鎢絲(5)伸出至安裝塊(4)外側(cè)的方向，且所述凹槽(6)的孔徑從敞口端至內(nèi)部線(xiàn)性增大。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低清理頻率的高效離子束拋光設(shè)備，其特征在于，所述陶瓷連接塊(7)為與格柵板(3)外緣形狀一致的環(huán)形結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低清理頻率的高效離子束拋光設(shè)備，其特征在于，所述格柵板(3)呈圓形，格柵板(3)上的通孔(31)分布在格柵板(3)中心位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低清理頻率的高效離子束拋光設(shè)備，其特征在于，所述陽(yáng)極板(2)通過(guò)導(dǎo)線(xiàn)電連接至放電腔(1)外部。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低清理頻率的高效離子束拋光設(shè)備，其特征在于，所述放電腔(1)上設(shè)置輸氣口(8)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低清理頻率的高效離子束拋光設(shè)備，其特征在于，所述鎢絲(5)還固定連接在放電腔(1)外壁上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低清理頻率的高效離子束拋光設(shè)備，其特征在于，所述凹槽(6)的縱截面呈等腰三角形，且所述等腰三角形的頂角位于凹槽(6)的敞口端。
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