[實(shí)用新型]具有多層格柵板的穩(wěn)定型離子束拋光機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721169065.4
• 申請日: 2017-09-13
• 公開（公告）號(hào): CN207139516U
• 公開（公告）日: 2018-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 倪磊;倪晉
• 申請（專利權(quán)）人: 成都睿坤科技有限公司
• 主分類號(hào): B24B29/00
• 分類號(hào): B24B29/00
• 代理公司: 成都行之專利代理事務(wù)所(普通合伙)51220
• 代理人: 馬碧娜

1.具有多層格柵板的穩(wěn)定型離子束拋光機(jī)，包括放電腔(1)、位于放電腔(1)內(nèi)的陽極板(2)、以及設(shè)置在放電腔(1)出口端的若干層格柵板(3)，最外層格柵板(3)上設(shè)置安裝塊(4)，所述安裝塊(4)上設(shè)置鎢絲(5)，所述鎢絲(5)的一端伸出至安裝塊(4)外側(cè)，其特征在于，所述格柵板(3)頂面固定連接若干陶瓷球(9)，所述格柵板(3)底面設(shè)置若干第一凹槽(7)，所述第一凹槽(7)的表面為與所述陶瓷球(9)半徑相等的球面、且所述第一凹槽(7)的縱截面呈劣弧狀；所述格柵板(3)頂面的陶瓷球(9)、和格柵板(3)底面的第一凹槽(7)一一正對(duì)，相鄰兩塊格柵板(3)之間，下層格柵板(3)的陶瓷球(9)均放置在上層格柵板(3)的第一凹槽(7)內(nèi)；所述安裝塊(4)的側(cè)面設(shè)置一端敞口的第二凹槽(6)，所述第二凹槽(6)的敞口方向朝向鎢絲(5)伸出至安裝塊(4)外側(cè)的方向，且所述第二凹槽(6)的孔徑從敞口端至內(nèi)部線性增大。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有多層格柵板的穩(wěn)定型離子束拋光機(jī)，其特征在于，所述格柵板(3)呈圓形，格柵板(3)上的通孔(31)分布在格柵板(3)中心位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有多層格柵板的穩(wěn)定型離子束拋光機(jī)，其特征在于，所述陽極板(2)通過導(dǎo)線電連接至放電腔(1)外部。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有多層格柵板的穩(wěn)定型離子束拋光機(jī)，其特征在于，所述放電腔(1)上設(shè)置輸氣口(8)。

5.據(jù)權(quán)利要求1所述的具有多層格柵板的穩(wěn)定型離子束拋光機(jī)，其特征在于，所述第二凹槽(6)的縱截面呈等腰三角形，且所述等腰三角形的頂角位于第二凹槽(6)的敞口端。

6.據(jù)權(quán)利要求1所述的具有多層格柵板的穩(wěn)定型離子束拋光機(jī)，其特征在于，所述陶瓷球(9)外表面包覆一層彈性材料。