[實用新型]一種多晶鑄錠用異形轉角加熱器有效
| 申請號: | 201721155695.6 | 申請日: | 2017-09-11 |
| 公開(公告)號: | CN207483896U | 公開(公告)日: | 2018-06-12 |
| 發明(設計)人: | 呂亞洲;雷杰;李麗麗;黃林;張澤興;賴昌權 | 申請(專利權)人: | 江西旭陽雷迪高科技股份有限公司 |
| 主分類號: | C30B28/06 | 分類號: | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 南昌新天下專利商標代理有限公司 36115 | 代理人: | 謝德珍 |
| 地址: | 332000 江西省九*** | 國省代碼: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 轉角體 加熱器 轉角 連接體 晶錠 異形 多晶鑄錠 受熱 本實用新型 加熱器本體 口字形結構 固液界面 晶粒 固定件 固定孔 上端 分凝 副體 角處 排雜 平坦 | ||
一種多晶鑄錠用異形轉角加熱器,包括由4個加熱器經4個轉角體連接呈口字形結構的異形轉角加熱器本體,所述轉角體包括轉角體本體,轉角體本體上端設有轉角體副體,轉角體本體兩側均設有連接體,所述加熱器兩側和連接體上均設有相對應的4個固定孔,所述加熱器和連接體經固定件固定連接。本實用新型實現了晶錠四個角處受熱加強,使得晶錠四周受熱更均勻,實現了晶錠長晶固液界面更平坦,解決了長晶分凝排雜效果差和晶粒傾斜的問題。
技術領域
本實用新型涉及一種多晶鑄錠用異形轉角加熱器。
背景技術
多晶硅鑄錠爐加熱器主要包括頂部加熱器和側部加熱器,側部加熱器通過轉角加熱器首尾連接,如圖1所示,加熱器為硅料提供加熱源,形成多晶鑄錠爐殼體內的加熱場?,F有技術中的轉角加熱器加熱輻射面積小,加熱功率有所欠缺,這就導致晶錠在生長中后期,晶錠四個角溫度比中心溫度低,導致晶錠在坩堝面優先引晶形成凹型固液界面,從而引起向內橫向生長引起晶粒傾斜。
多晶鑄錠定向凝固過程所追求的是平坦或微凸型的固液界面,這有利于晶錠中雜質分凝排出,且晶錠在自下而上的生長過程中形成豎直的柱狀硅晶體結構。四個角溫度比中心溫度低,四個角優先長晶,晶錠表面容易凹凸不平引起長晶裂紋,更嚴重的會導致晶錠整錠隱裂,造成生產損失。
實用新型內容
本實用新型其目的就在于一種多晶鑄錠用異形轉角加熱器,解決了長晶分凝排雜效果差和晶粒傾斜的問題。
為實現上述目的而采取的技術方案是,一種多晶鑄錠用異形轉角加熱器,包括由4個加熱器經4個轉角體連接呈口字形結構的異形轉角加熱器本體,所述轉角體包括轉角體本體,轉角體本體上端設有轉角體副體,轉角體本體兩側均設有連接體,所述加熱器兩側和連接體上均設有相對應的4個固定孔,所述加熱器和連接體經固定件固定連接。
有益效果
與現有技術相比本實用新型具有以下優點。
1.長晶固液界面更平坦,改善晶粒傾斜;
2.降低晶錠雜質點,提升晶錠0.5%成品率。
附圖說明
以下結合附圖對本實用新型作進一步詳述。
圖1為本實用新型結構示意圖;
圖2為本實用新型中轉角體的結構示意圖。
具體實施方式
本裝置包括由4個側部加熱器4經4個轉角體1連接呈口字形結構的異形轉角加熱器本體5,如圖1、2所示,所述轉角體1包括轉角體本體11,轉角體本體11上端設有轉角體副體12,轉角體本體11兩側均設有連接體13,所述側部加熱器4兩側和連接體13上設有相對應的4個固定孔3,所述側部加熱器4和連接體13經固定件2固定連接。
所述轉角體副體12寬度為100-150mm,轉角體副體12和轉角體本體11厚度一樣、表面齊平且為一體結構。
所述轉角體本體11、轉角體副體12和側部加熱器4均為高純等靜壓石墨材質制成,固定件2為碳碳材質制成。
本實用新型的工作原理為,轉角體本體11上增加轉角體副體12,這樣會增加發熱輻射面積,晶錠四個角處受熱加強,使得晶錠四周受熱更均勻,實現了晶錠長晶固液界面更平坦,解決了長晶分凝排雜效果差和晶粒傾斜的問題。
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