[實用新型]硅片分片吸盤組件

有效

• 申請號: 201721142190.6
• 申請日: 2017-09-06
• 公開（公告）號: CN207353222U
• 公開（公告）日: 2018-05-11
• 發明（設計）人: 董曉清;凌勇
• 申請（專利權）人: 無錫市江松科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙) 32260
• 代理人: 張歡勇

本實用新型公開了一種硅片分片吸盤組件，涉及硅片裝卸技術領域，包括若干個吸盤以及吸盤固定裝置，所述吸盤包括固定部以及吸片部，固定部通過吸盤固定裝置進行固定，固定部上設置有貫穿其表面的通孔，相鄰吸盤的固定部的側面緊密貼合設置，且所有固定部的通孔之間互相連通，吸盤的其中一個表面設置有第一凹槽，吸盤的內部設置有連通第一凹槽和通孔的氣體通道。使用時，通孔中接入負壓，負壓氣體經過氣體通道進入吸盤的吸片部，吸片部可以插入花籃中的兩個料槽之間，從靠近吸片部的硅片吸附，吸附后可以通過氣缸將整個組件抬升，從而將被吸附與未被吸附的硅片分離。

技術領域

本實用新型涉及硅片裝卸技術領域，具體涉及一種硅片分片吸盤組件。

背景技術

花籃在硅片是硅片運輸過程中的重要工具，每個花籃中放置的硅片數量也不相同，隨著硅片加工工藝要求要來越高，其加工工藝也越來越復雜，硅片裝卸裝置的要求也越來越高，現有工藝中有需求將一個花籃中位于一個凹槽中的兩片硅片進行分片，而現有的硅片分片傳送裝置，如專利授權公告號為CN104609146的專利公開的硅片分片傳送裝置，均無法滿足，均分為兩組的要求。

實用新型內容

本是用新型要解決的技術問題是提供一種可將花籃或者料盒凹槽中兩片重疊的硅片進行分片的吸盤組件。

為了解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案是；一種硅片分片吸盤組件，包括若干個吸盤以及吸盤固定裝置，所述吸盤包括固定部以及吸片部，固定部通過吸盤固定裝置進行固定，固定部上設置有貫穿其表面的通孔，相鄰吸盤的固定部的側面緊密貼合設置，且所有固定部的通孔之間互相連通，吸盤的其中一個表面設置有第一凹槽，吸盤的內部設置有連通第一凹槽和通孔的氣體通道。

進一步的，所述吸盤上與第一凹槽相對的一面設一個凹陷部和蓋合在凹陷部上的蓋板，在凹陷部中還設置有與第一凹槽一一對應的第二凹槽，第二凹槽一端連通通孔，另一端延伸至第一凹槽對應位置，第一凹槽和第二凹槽通過氣孔連通。

進一步的，所述第一凹槽呈環形。

進一步的，每個吸盤上均設置有兩個第一凹槽和第二凹槽。

進一步的，所述吸盤固定裝置包括固定板、限位柱以及鎖緊塊，吸盤固定部設置有固定孔，限位柱穿過固定孔將吸盤固定，鎖緊塊設置在限位柱的兩端將吸盤鎖緊，鎖緊塊固定在固定板上，固定板用于連接外部設備。

進一步的，所述蓋板向上延伸至通孔處。

進一步的，所述吸盤的吸片部邊緣處呈楔形狀。

進一步的，所述吸盤設置有蓋板的一側粘貼有密封膜。

從上述技術方案可以看出本實用新型具有以下優點：使用時，通孔中接入負壓，負壓氣體經過氣體通道進入吸盤的吸片部，吸片部可以插入花籃中的兩個料槽之間，從靠近吸片部的的硅片吸附，吸附后可以通過氣缸將整個組件抬升，從而將被吸附與未被吸附的硅片分離，每個吸盤上均可以設置至少兩個第一凹槽和第二凹槽，增加吸附點，可以增加吸附的穩定性。蓋板向上延伸至通孔處，采用該結構，蓋板與無需通過螺釘與吸盤進行固定，將蓋板與吸盤蓋合后，利用鎖緊塊可以將吸盤和蓋板鎖死，不會發生軸上的松動。

附圖說明

圖1為本實用新型的機構示意圖(圖中吸盤未全部畫出)

圖2為本實用新型中吸盤的結構示意圖；

圖3為本實用新型中吸盤的結構示意圖；

圖4為圖3的局部放大圖示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式做詳細說明。