[實用新型]一種高效連續曝光機有效
| 申請號: | 201721138072.8 | 申請日: | 2017-09-06 |
| 公開(公告)號: | CN207337071U | 公開(公告)日: | 2018-05-08 |
| 發明(設計)人: | 曾旭 | 申請(專利權)人: | 寧波東盛集成電路元件有限公司;寧波東順電子科技有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/20 | 分類號: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 上海申新律師事務所 31272 | 代理人: | 俞滌炯 |
| 地址: | 315000 浙*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 高效 連續 曝光 | ||
1.一種高效連續曝光機,其特征在于,包括:
曝光平臺;
傳送帶裝置,所述傳送帶裝置包括第一帶式傳送機和若干框架結構;若干所述框架結構沿所述第一帶式傳送機的長度方向設置于所述第一帶式傳送機的傳送帶上;每一所述框架結構的邊緣設有卡嵌孔;
若干光強傳感器,若干所述光強傳感器成矩形陣列設置于所述框架結構內;
曝光裝置,所述曝光裝置包括第二帶式傳送機、上下移動裝置和若干曝光機;所述第二帶式傳送機的傳送帶沿其長度方向設有若干上下移動裝置,每一所述上下移動裝置設有一曝光機,每一所述曝光機正對一所述框架結構。
2.根據權利要求1所述一種高效連續曝光機,其特征在于,所述曝光機包括蓋體、若干發光部件和若干卡嵌裝置;所述上下移動裝置設有一所述蓋體,所述蓋體的開口背向所述第二帶式傳送機,所述蓋體內設有若干發光部件;所述蓋體的邊緣設有若干所述卡嵌裝置,每一所述卡嵌裝置嵌入一相正對的一所述卡嵌孔。
3.根據權利要求1所述一種高效連續曝光機,其特征在于,若干所述光強傳感器設置于待曝光金屬片放置范圍內,所述待曝光金屬片上預制若干通孔使每一所述光強傳感器的傳感部露出。
4.根據權利要求3所述一種高效連續曝光機,其特征在于,每一所述待曝光金屬片設置于所述框架結構內。
5.根據權利要求1所述一種高效連續曝光機,其特征在于,吸塵裝置,位于所述第一帶式傳送機的出口的上方設置有一所述吸塵裝置,所述吸塵裝置靠近所述第一帶式傳送機。
6.根據權利要求1所述一種高效連續曝光機,其特征在于,所述第一帶式傳送機的速度等于所述第二帶式傳送機的速度。
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