[實用新型]一種太陽能電池片鈍化用Al2O3鍍膜系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721120876.5
• 申請日: 2017-09-01
• 公開（公告）號: CN207233760U
• 公開（公告）日: 2018-04-13
• 發(fā)明（設計）人: 朱廣東;楊玉杰;劉金浩;莊正軍;上官泉元
• 申請（專利權(quán)）人: 常州比太科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;C23C16/54
• 代理公司: 北京集智東方知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11578
• 代理人: 張紅,程立民

技術(shù)領域

本實用新型涉及太陽能電池片生產(chǎn)技術(shù)領域，特別涉及一種太陽能電池片鈍化用Al₂O₃鍍膜系統(tǒng)。

背景技術(shù)

隨著光伏發(fā)電的應用越來越廣及生產(chǎn)成本的越來越高，有效控制晶體硅光伏組件的成本，特別是硅片成本尤其重要，即采用更薄的硅片以及增加電池的轉(zhuǎn)換效率是降低硅片成本的重要手段。目前，轉(zhuǎn)換效率大于20%的電池結(jié)構(gòu)都具有電介質(zhì)層的鈍化表面，即通常在P型太陽能電池片背面鍍有一層Al₂O₃薄膜形成表面鈍化（非受光面）或在N型太陽能電池片正面鍍有一層Al₂O₃薄膜形成鈍化（受光面），通過表面鈍化使太陽能電池片獲得如下特性：

①Al₂O₃薄膜鈍化層作為背反射器，可以增加長波光的吸收；

②Al₂O₃薄膜鈍化層介于硅基體和鋁背面場間，可以有效減少電池片的翹曲，有利于產(chǎn)業(yè)化良率的提高；

③原子態(tài)的氫飽和基體表面懸掛鍵，有效降低界面復合，提高載流子收集效率；

④大量的固定電荷的場鈍化效應，可以提高載流子收集效率，增加短路電流，改善電池的整體性能。

目前，業(yè)界普遍采用的太陽能電池片表面Al₂O₃鈍化方法有如下幾種：

①原子層沉積（ALD）Al₂O₃：具有沉積溫度低，薄膜厚度易控制、精確度高、鈍化性能良好且可滿足工業(yè)話生產(chǎn)的優(yōu)點，但成本高且鍍膜速度低；

②反應性濺射：該方法獲得的Al₂O₃薄膜層具有燒結(jié)穩(wěn)定性差的缺點；

③等離子體增強化學的氣相沉積法（PECVD）：該種方法獲得的Al₂O₃薄膜層質(zhì)量高，且鍍膜速度快、成本低，易于量產(chǎn)，因而是目前主流的Al₂O₃鍍膜鈍化方法。

本實用新型的目的在于提供一種基于PECVD的太陽能電池片鈍化用Al₂O₃鍍膜系統(tǒng)和方法，以實現(xiàn)太陽能電池片表面的高效鈍化。

實用新型內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種太陽能電池片鈍化用Al₂O₃鍍膜系統(tǒng)，包括依次連接的上料臺、紅外加熱腔、緩沖腔一、工藝腔、緩沖腔二、卸載腔、緩存臺及自動上下料裝置，兩端的所述上料臺及自動上下料裝置通過系統(tǒng)底部設置的下傳輸裝置連通以用于將裝載有待鍍膜硅片的載板從所述自動上下料裝置傳輸至所述上料臺；

所述工藝腔包括：設置在所述工藝腔底部的底部加熱器，設置在所述底部加熱器上方的至少一個離子源，對應設置在所述離子源側(cè)部的側(cè)部加熱器，及設置于所述離子源兩側(cè)的分氣塊；所述離子源的下方兩側(cè)還設置有陶瓷板。

通過上述技術(shù)方案，本實用新型通過優(yōu)化鍍膜系統(tǒng)，可以有效的實現(xiàn)硅片的自動上下料、自動預熱、高效鍍膜、自動壓力轉(zhuǎn)換以及載板的自動循環(huán)，從而實現(xiàn)了太陽能電池片的高效Al₂O₃鍍膜鈍化，具有系統(tǒng)自動化程度高、鍍膜速度快、成本低、鍍膜質(zhì)量高并適于工業(yè)化量產(chǎn)的優(yōu)點。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。

圖1為本實用新型實施例所公開的鍍膜系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型實施例所公開的工藝腔結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中數(shù)字表示：

11.腔體 12.底部加熱器13.離子源

14.側(cè)部加熱器 15.分氣塊16.陶瓷板

17.載板 18.硅片

具體實施方式

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述。

參考圖1，本實用新型提供的太陽能電池片鈍化用Al₂O₃鍍膜系統(tǒng)，包括依次連接的上料臺、紅外加熱腔、緩沖腔一、工藝腔、緩沖腔二、卸載腔、緩存臺及自動上下料裝置，兩端的上料臺及自動上下料裝置通過系統(tǒng)底部設置的下傳輸裝置連通以用于將裝載有待鍍膜硅片的載板從自動上下料裝置傳輸至上料臺。