[實用新型]一種太陽能電池片鈍化用Al2O3鍍膜系統

有效

• 申請號: 201721120876.5
• 申請日: 2017-09-01
• 公開（公告）號: CN207233760U
• 公開（公告）日: 2018-04-13
• 發明（設計）人: 朱廣東;楊玉杰;劉金浩;莊正軍;上官泉元
• 申請（專利權）人: 常州比太科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;C23C16/54
• 代理公司: 北京集智東方知識產權代理有限公司11578
• 代理人: 張紅,程立民

1.一種太陽能電池片鈍化用Al₂O₃鍍膜系統，其特征在于，包括依次連接的上料臺、紅外加熱腔、緩沖腔一、工藝腔、緩沖腔二、卸載腔、緩存臺及自動上下料裝置，兩端的所述上料臺及自動上下料裝置通過系統底部設置的下傳輸裝置連通以用于將裝載有待鍍膜硅片的載板從所述自動上下料裝置傳輸至所述上料臺；

所述工藝腔包括：設置在所述工藝腔底部的底部加熱器，設置在所述底部加熱器上方的至少一個離子源，對應設置在所述離子源側部的側部加熱器，及設置于所述離子源兩側的分氣塊。

2.根據權利要求1所述的一種太陽能電池片鈍化用Al₂O₃鍍膜系統，其特征在于，所述離子源的下方兩側還設置有陶瓷板。

3.根據權利要求2所述的一種太陽能電池片鈍化用Al₂O₃鍍膜系統，其特征在于，所述工藝腔包括并列設置在所述底部加熱器上方的兩個所述離子源以用于將O₂或N₂O通入工藝腔的腔體，對應設置在兩個所述離子源側部的兩個所述側部加熱器，及設置于所述離子源兩側的所述分氣塊，即兩個所述離子源的兩側及中間共設置有三個所述分氣塊以用于將攜帶有三甲基鋁的N₂或Ar通入所述工藝腔的腔體；每個所述離子源的下方兩側均設置有陶瓷板以用于隔離三甲基鋁與O₂或N₂O并起絕緣作用。