[實用新型]納米光柵微機械陀螺

有效

• 申請號: 201721084969.7
• 申請日: 2017-08-28
• 公開（公告）號: CN207197535U
• 公開（公告）日: 2018-04-06
• 發明（設計）人: 李孟委;耿浩;梁洲鑫;吳倩楠;李秀源
• 申請（專利權）人: 中北大學
• 主分類號: G01C19/5733
• 分類號: G01C19/5733
• 代理公司: 深圳市興科達知識產權代理有限公司44260
• 代理人: 楊小東

1.納米光柵微機械陀螺，其特征在于，所述微機械陀螺包括：

上基板，所述上基板中心位置處布置有動光柵；

鍵合框體；

下基板，所述下基板通過鍵合框體與所述上基板粘結牢固，所述下基板對應動光柵位置處布置有定光柵。

2.根據權利要求1所述的納米光柵微機械陀螺，其特征在于，所述上基板包括內質量塊、外質量塊及支撐框體；

所述內質量塊通過檢測機構連接在所述外質量塊內側；

所述外質量塊外側通過驅動機構連接在所述支撐框體上；

所述動光柵布置在所述內質量塊中心處。

3.根據權利要求2所述的納米光柵微機械陀螺，其特征在于，所述內質量塊任意相對的兩側端部分別通過檢測機構連接在所述外質量塊內側；

所述內質量塊四個角處通過驅動機構連接在支撐框架上。

4.根據權利要求3所述的納米光柵微機械陀螺，其特征在于，所述驅動機構及檢測機構均為回折梁結構，包括多個連接塊及彈性梁。

5.根據權利要求4所述的納米光柵微機械陀螺，其特征在于，所述驅動機構布置在所述外質量塊的四個角落處，四個所述驅動機構的布置方向相互平行，平行方向為第一方向，并在第一方向上的同一邊側上的驅動機構布置在同一直線上；

所述驅動機構的布置方向為所述驅動機構連接塊及彈性梁的布置方向。

6.根據權利要求5所述的納米光柵微機械陀螺，其特征在于，所述檢測機構均布置在第二方向上，并相互之間平行布置，所述第二方向與所述第一方向垂直，并在第二方向上同一邊側的檢測機構布置在同一直線上；

所述檢測機構的布置方向為檢測機構連接塊及彈性梁的布置方向。

7.根據權利要求6所述的納米光柵微機械陀螺，其特征在于，在所述第二方向上同一邊側的兩個驅動機構之間提供一個布置區域，所述在第二方向上同一邊側的兩個檢測機構置于布置區域之內。

8.根據權利要求7所述的納米光柵微機械陀螺，其特征在于，所述動光柵設置在所述內質量塊的中心處；

所述動光柵包括多個動光柵柵線，任意一個動光柵柵線布置方向與第二方向平行，多個所述動光柵柵線中心點處于平行第一方向的直線上。

9.根據權利要求8所述的納米光柵微機械陀螺，其特征在于，所述定光柵左右相對兩側對稱布置有驅動磁體和檢測磁體；

所述驅動磁體與在第一方向上的一邊側驅動機構位置相對；

所述檢測磁體與在第一方向上的另一邊側驅動機構位置相對。

10.根據權利要求1所述的納米光柵微機械陀螺，其特征在于，所述定光柵、動光柵通過干法刻蝕技術而成。