[實用新型]一種新型電子背散射衍射檢測分析樣品臺

有效

• 申請號: 201721057995.0
• 申請日: 2017-08-23
• 公開（公告）號: CN207199566U
• 公開（公告）日: 2018-04-06
• 發明（設計）人: 李蕭;孟利
• 申請（專利權）人: 北京科技大學;鋼鐵研究總院
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20
• 代理公司: 北京金智普華知識產權代理有限公司11401
• 代理人: 皋吉甫

技術領域

本實用新型涉及一種微觀組織檢測分析輔助工具，具體屬于一種EBSD檢測分析樣品臺。

背景技術

電子背散射衍射（EBSD）技術是基于掃描電鏡中電子束在傾斜樣品表面激發并形成的衍射菊池帶的分析從而確定晶體結構、取向及相關信息的方法。目前EBSD分析技術廣泛應用于各種晶體材料領域，解決在結晶、薄膜制備、形變、再結晶、相變、腐蝕等過程中的問題，可幫助我們全面認識材料制備過程機理和本質。

一般放入掃描電鏡樣品室內進行EBSD檢測分析的樣品需保證其觀察面與水平面呈70°角傾斜（或與SEM電子束呈20°角），通過減小背散射電子射出表面的路徑以獲取足夠強的背散射衍射信號，減小吸收信號。為了便于操作，我們通常將待檢測的樣品直接粘貼固定在樣品臺上進行EBSD分析，樣品臺結構設計如附圖11所示。從附圖11中可以看出這種傳統的樣品臺粘貼固定樣品的區域大小非常有限，僅限于頂部的傾斜面區域，因此單次測試的樣品個數也十分有限，更換試樣需反復開關掃描電鏡樣品室和真空泵，浪費時間和耗損動力。

另外，這種傳統的EBSD樣品臺對樣品（或夾具）的尺寸大小要求非常嚴格，不易太大，樣品高度一般控制在10mm范圍內，若樣品尺寸過大，容易與電子槍和EBSD探頭發生碰撞，對設備造成損壞，存在安全隱患。另外兩種尺寸大小相差非常明顯的樣品不能同時放入，樣品高度的差異容易相互干擾，影響檢測分析。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種EBSD檢測分析樣品臺，可同時實現對多種不同樣品進行EBSD高效分析，單次放入掃描電鏡樣品室的樣品個數多，并且實現根據樣品大小高度進行樣品臺高度調節。

實現上述目的的技術措施：

一種新型電子背散射衍射檢測分析樣品臺，樣品臺包括底座、支柱；底座正面帶有一個或多個圓孔；

所述的支柱底端有圓柱體突起，圓柱體突起插入底座圓孔處；

所述的支柱上端兩側各有一個斜面。

所述的支柱斜面上設有卡槽，卡槽上安裝有用于固定樣品的螺釘。

所述支柱與圓柱體突起之間安裝有一個或多個用于增加支柱高度的連接件。

所述的底座側面帶有與圓孔相通的螺紋孔；所述的支柱與底座通過螺釘組裝、拆卸。

所述的底座底面帶有固定卡座。

所述的支柱上端的一側斜面與水平面的夾角為70°；所述的支柱上端的另一側斜面與水平面的夾角為20°。

本實用新型的特點在于底座、支柱及螺釘均由無磁性金屬或合金制成，如鋁合金、銅合金、鈦合金、鎂合金、無磁不銹鋼等，首選鋁合金和銅合金，易加工成型、導電性良好、重量輕。底座近似圓餅形，正面帶有圓孔，側面帶有與之相通的螺紋孔。底座底面帶有由銅合金加工的固定卡座，用于固定在掃描電鏡樣品室內。

本實用新型的特點在于支柱安置底座正面的圓孔中，從底座側面的螺紋孔擰緊螺釘對支柱進行固定，保證檢測時支柱及樣品穩定牢固。

本實用新型的特點在于底座上一次可安置多個支柱，同時實現對多種不同樣品進行EBSD檢測分析，單次檢測的樣品數量多。

本實用新型的特點在于銅合金支柱的結構設計多樣化，主要有（a）常規型、（b）卡槽型、（c）調節型等。（a）常規型支柱與傳統EBSD樣品臺相似，可粘貼尺寸大小相近的樣品。（b）卡槽型支柱主要用于固定形狀不規則或難以通過導電膠粘貼的樣品，支柱卡槽上帶有螺釘，可用于固定樣品。（c）調節型支柱可根據樣品的高度，通過增加或減少連接件來調節樣品臺的高度，更有利于操作調整樣品，保證在EBSD檢測分析時不與電子槍和EBSD探頭發生摩擦碰撞，可對設備起到保護的作用。

本實用新型樣品臺優點在于能同時放入多個支柱，可實現對多種不同樣品檢測分析，單次放入掃描電鏡樣品室內的樣品個數多，操作簡單、實用，檢測時樣品與樣品之間不會相互干擾。與傳統EBSD測試樣品臺相比，可大幅提高測試分析效率、節約時間、減少損耗。

附圖說明

圖1為底座俯視圖；

圖2為底座仰視圖；7為固定卡座；

圖3為底座側視圖；

圖4為常規型支柱正面示意圖；

圖5為常規型支柱側面示意圖；

圖6為卡槽型支柱正面示意圖；

圖7為卡槽型支柱側面示意圖；

圖8為調節型支柱示意圖；

圖9為新型樣品臺整體結構側面示意圖；

圖10為新型樣品臺整體結構俯視圖；

1、底座，2、調節型支柱，3、常規型支柱，4、卡槽型支柱，5、螺紋孔，6、圓孔；