[實用新型]一種高效率的軟拋機

有效

• 申請號: 201721037652.8
• 申請日: 2017-08-18
• 公開（公告）號: CN207326708U
• 公開（公告）日: 2018-05-08
• 發明（設計）人: 吳瓊;黎韋;郭宇
• 申請（專利權）人: 福建兆元光電有限公司
• 主分類號: B24B37/10
• 分類號: B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B57/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種高效率的軟拋機，包括工作臺，還包括裝有拋光液的拋光液桶；所述拋光液桶內還設有一個溫控系統；所述工作臺上方設有轉動連接有一個轉盤；所述工作臺側面上設有一個機械臂；所述轉盤上設有拋光墊；所述拋光墊正上方設有一根噴灑管；所述噴灑管另一端連接有抽吸泵；所述抽吸泵的輸入端伸入所述拋光液桶底部；所述拋光液桶的上部設有一個出料端與拋光液桶連通的氧化劑放置盒；所述氧化劑放置盒的出料端上設有閥門。本實用新型結合機械拋光和化學拋光大大提高了拋光效率。

技術領域

本實用新型涉及軟拋機設備技術領域，尤其涉及一種高效率的軟拋機。

背景技術

在LED半導體制造技術工藝中內，其中一個重要的步驟就是為晶圓片拋光；晶圓片拋光后的劃痕深度為十幾個微米，軟拋可以使制程作業后的表面光亮如鏡。但是，目前市面上的軟拋機其切削速率極低。因此，設計一種高效率的軟拋機，顯得非常必要。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現有技術中存在的缺點，而提出的一種高效率的軟拋機。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

一種高效率的軟拋機，包括工作臺，還包括裝有拋光液的拋光液桶；所述拋光液桶內還設有一個溫控系統；所述工作臺上方設有轉動連接有一個轉盤；所述工作臺側面上設有一個機械臂；所述轉盤上設有拋光墊；所述拋光墊正上方設有一根噴灑管；所述噴灑管另一端連接有抽吸泵；所述抽吸泵的輸入端伸入所述拋光液桶底部；所述拋光液桶的上部設有一個出料端與拋光液桶連通的氧化劑放置盒；所述氧化劑放置盒的出料端上設有閥門；所述機械臂包括固定在工作臺側面的豎直設置的液壓升降柱；所述液壓升降住上端固定連接有水平設置的固定板；所述固定板上設有電機一；所述電機一的主軸下端固定連接有連接軸；所述連接軸下端固定連接有一個真空發生器；所述真空發生器的下端連接有真空吸盤；所述真空吸盤位于拋光墊上方。

優選的，所述工作臺為上端開口的桶狀結構；所述轉盤設于所述工作臺上端開口處；所述工作臺的內部水平設有一塊隔板；所述隔板下方設有電機二；所述電機二的主軸上連接有豎直設置的轉軸；所述轉軸貫穿所述隔板，且上端與轉盤固定連接。

優選的，所述隔板上部的工作臺內部上通過一根連接管與拋光液桶連通。

優選的，所述溫控系統包括設于拋光液桶內底部的電加熱板、設于拋光液桶內壁的溫度傳感器、與溫度傳感器電連接的微處理器，以及與電加熱板電連接的控制器；其中控制器與微處理器電連接。

優選的，所述拋光墊通過螺栓安裝在所述轉盤上。

優選的，所述連接軸與所述轉軸的旋轉方向相反

較之現有技術，本實用新型的優點在于：

本實用新型結合機械拋光和化學拋光共同作用大大提高了拋光效率；本實用新型通過設置機械臂上的真空發生器和真空吸盤可以將待軟拋處理的晶圓片吸附住，并通過電機一作用帶動其旋轉，使其與拋光墊之間旋轉摩擦；而且通過設置噴灑管可以將拋光液抽到拋光墊上，隨著轉盤的轉動，會產生離心力，從而會將流到拋光墊上的拋光液均勻分散到拋光墊的表面，從而使晶圓片打磨效果更佳。而且本實用新型在拋光液桶上設置有氧化劑盒，將氧化劑盒內的氧化劑放入拋光液內尅產生化學機械拋光效果，從而提高拋光效果。并且拋光液桶內設有溫控系統，從而可以使拋光液處于一定合適的溫度范圍內，從而調高化學反應速率，進一步提高了拋光效果。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型內部的結構示意圖；

圖3為本實用新型左視截面圖；

圖4為本實用新型溫控系統的流程圖。