[實用新型]一種防止腔體泄漏的控壓裝置

有效

• 申請號: 201721024386.5
• 申請日: 2017-08-16
• 公開（公告）號: CN207165518U
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發明（設計）人: 朱亮;柳小敏;陳偉
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 上海申新律師事務所31272
• 代理人: 俞滌炯

技術領域

本實用新型涉及一種壓力裝置，尤其涉及一種控壓裝置。

背景技術

PVD PCxT腔體，為了防止Vent時腔體壓力過大，腔體上安裝了泄壓閥。當腔體壓力達到大氣壓時，泄壓閥自動打開，從而保證腔體最大壓力等于1個大氣壓左右。目前的泄壓閥時常會出現微漏，導致腔體RF反射功率異常。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是針對現有技術的缺陷，提供一種能穩定的控壓的防止腔體泄漏的控壓裝置。

本實用新型為解決上述技術問題采用以下技術方案：

一種防止腔體泄漏的控壓裝置，其特征在于：包括腔體和所述腔體上的進氣孔與控壓孔；所述進氣孔連接進氣管道，所述控壓孔依次連接控壓管道和泄壓閥；在所述進氣管道與控壓管道高度一致的管道上分別設有進氣管道氣動閥和與所述進氣管道氣動閥聯動的控壓管道聯動氣動閥；所述的進氣管道氣動閥和控壓管道聯動氣動閥的兩個轉動開關設軸心孔并由水平連接軸軸心連接并相對設置；所述轉動開關能同軸轉動實現進氣管道氣動閥和控壓管道聯動氣動閥的同開同關。

為了進一步優化上述技術方案，本實用新型所采取的技術措施為：

優選的，所述進氣管道氣動閥和所述控壓管道聯動氣動閥為參數相同的氣動閥。

優選的，所述水平連接軸中部設轉動控制機構。

優選的，所述水平連接軸為六角柱，所述轉動開關軸心孔為六角孔。

優選的，所述轉動控制機構為穿過所述水平連接軸帶內六角孔的扳動裝置。

優選的，所述轉動控制機構為蝸輪蝸桿機構。

優選的，所述蝸輪與轉動電機相連。

優選的，所述轉動電機為伺服電機。

優選的，所述轉動控制機構為齒輪傳動機構。

優選的，所述齒輪傳動機構為直齒圓柱齒輪傳動機構。

本實用新型采用以上技術方案，與現有技術相比，具有如下技術效果：

由于泄壓閥起作用的時間是在腔體通氣的過程中。因此可以在泄壓閥前端增加一個與通氣管路上的氣動閥聯動的氣動閥。當需要通氣時，兩個氣動閥同時打開，泄壓閥正常工作。當腔體處于真空狀態時，兩個氣動閥全部為關閉狀態。由于泄壓閥前端被聯動的氣動閥隔斷，因此泄壓閥的因微漏進入的管路的空氣不能進到腔體，從而影響不到腔體的正常工作。

附圖說明

圖1為本實用新型的一種優選實施例的防止腔體泄漏的控壓裝置的結構示意圖；

圖2為本實用新型的一種優選實施例的水平連接軸和轉動控制機構的結構示意圖；

圖3為本實用新型的一種優選實施例的水平連接軸和轉動控制機構的結構示意圖；

圖4為本實用新型的一種優選實施例的水平連接軸和轉動控制機構的結構示意圖；

其中的附圖標記為：

1腔體；2進氣管道；3控壓管道；4泄壓閥；5水平連接軸；6轉動控制機構；11進氣孔；12控壓孔；21進氣管道氣動閥；31控壓管道聯動氣動閥。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型的技術方案做進一步的詳細說明。

如圖1-4所示，本實用新型的防止腔體泄漏的控壓裝置，其特征在于：包括腔體1和所述腔體1上的進氣孔11與控壓孔12；所述進氣孔11連接進氣管道2，所述控壓孔12依次連接控壓管道3和泄壓閥4；在所述進氣管道2與控壓管道3高度一致的管道上分別設有進氣管道氣動閥21和與所述進氣管道氣動閥21聯動的控壓管道聯動氣動閥31；所述的進氣管道氣動閥21和控壓管道聯動氣動閥31的兩個轉動開關設軸心孔并由水平連接軸5軸心連接并相對設置；所述轉動開關能同軸轉動實現進氣管道氣動閥21和控壓管道聯動氣動閥31的同開同關；所述進氣管道氣動閥21和所述控壓管道聯動氣動閥31為參數相同的氣動閥；所述水平連接軸5中部設轉動控制機構6；所述水平連接軸5可以為六角柱，所述轉動開關軸心孔為六角孔；所述轉動控制機構6可以為穿過所述水平連接軸5帶內六角孔的扳動裝置；所述轉動控制機構6也可以為蝸輪蝸桿機構；所述蝸輪與轉動電機相連；所述轉動電機為伺服電機；所述轉動控制機構6還可以為齒輪傳動機構；所述齒輪傳動機構為直齒圓柱齒輪傳動機構。

本實用新型的具體流程為：

通氣時，經水平連接軸5上的轉動控制機構6打開進氣管道氣動閥21，由于聯動的作用下，控壓管道聯動氣動閥31也打開了，氣體從進氣管道2進入腔體1內，并通過控壓管道3經過泄壓閥4控制腔體1內的壓強，當通氣完成時，經水平連接軸5上的轉動控制機構6關閉進氣管道氣動閥21，由于聯動的作用下，控壓管道聯動氣動閥31也一并關閉。