[實用新型]尾氣處理塔燃燒室端口清理裝置和尾氣處理塔

有效

• 申請號: 201721017680.3
• 申請日: 2017-08-15
• 公開（公告）號: CN207365078U
• 公開（公告）日: 2018-05-15
• 發明（設計）人: 劉超;肖鐵城;褚海東;王楊;蘇曉華
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（天津）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: F23J3/00
• 分類號: F23J3/00;F23J11/00
• 代理公司: 上海立群專利代理事務所(普通合伙) 31291
• 代理人: 侯莉;毛立群

本實用新型提供了一種尾氣處理塔燃燒室端口清理裝置和尾氣處理塔。尾氣處理塔燃燒室端口清理裝置包括：設置在端口外的伸縮件，其在內部壓力驅動下可沿軸向整體伸長與縮短；設置在端口中，與伸縮件軸向一端部相連的清理件。這種尾氣處理塔燃燒室端口清理裝置解決了燃燒室端口堵塞的問題。

技術領域

本實用新型涉及半導體制造領域，特別涉及尾氣處理塔燃燒室端口清理裝置和尾氣處理塔。

背景技術

半導體外延工藝的尾氣為可燃性的氣體，如CH4、HCl、B2H6、GeH4等氣體。通常在尾氣處理塔內經過燃燒的方式將這些可燃氣體除去，避免直接排放，污染環境。在尾氣處理過程中，燃燒生成的化合物粉末會逐漸堆積在端口附近，造成端口的堵塞。因此，在端口處設置清理裝置，可以清除堆積在端口的粉末，疏通端口。

現有技術尾氣處理塔燃燒室端口清理裝置包括：彈簧，彈簧的一端與活塞桿的軸向一端相連；活塞桿的軸向另一端位于氣缸內部，并與氣缸的內壁相接觸。活塞桿的軸向另一端與氣缸內壁相對運動帶動彈簧沿軸向方向往復運動，使彈簧的另一端將粉末堆積區的粘結物清除，進而達到防止端口堵塞的目的。但是，隨著清理裝置工作時間的增長，活塞桿與氣缸之間的摩擦力不斷增大，最終活塞桿被卡死，無法再進行往復運動，不能解決端口堵塞的問題，也降低了尾氣處理塔的排氣能力。

因此，現有技術亟需一種既能解決端口堵塞，又能提高尾氣處理塔排氣能力的端口清理裝置。

實用新型內容

本實用新型實施例提供了一種尾氣處理塔燃燒室端口清理裝置和尾氣處理塔，利用伸縮件代替氣缸和活塞桿相對運動的機械傳動件，解決了端口的堵塞問題，同時也提高尾氣處理塔的排氣能力。

本實用新型提供了一種尾氣處理塔燃燒室端口清理裝置，包括：設置在端口外的伸縮件，其在內部壓力驅動下可沿軸向整體伸長與縮短；設置在端口中，與伸縮件軸向一端部相連的清理件。

可選的，伸縮件的側壁為折疊結構。

可選的，還包括：設置于伸縮件軸向另一端部的增壓閥和泄壓閥。

可選的，還包括：設置于伸縮件軸向另一端部的蓋子，增壓閥和泄壓閥設置于蓋子的頂壁或側壁。

可選的，還包括：與清理件相配合的導流管，導流管內接于端口的內壁。

可選的，導流管包括：螺旋導流管或斜向導流管。

可選的，清理件包括：彈簧、清理桿或清理刷。

可選的，伸縮件軸向端部與清理件連接的方式包括：活動連接或固定連接。

可選的，伸縮件、清理件和端口的軸向方向一致。

本實用新型還提供了一種尾氣處理塔，包括：

如前文所述的任一種尾氣處理塔燃燒室端口清理裝置；

位于尾氣處理塔燃燒室端口清理裝置下方的燃燒室，燃燒室的室壁設置有與燃燒室內部連通的端口；

通過端口與燃燒室的內部連通的參考室，伸縮件的另一端部連接在參考室的內壁；

設置在參考室進氣口處的壓力測量裝置。

可選的，還包括：控制裝置，壓力測量裝置通過控制裝置與伸縮件相連接。

可選的，壓力測量裝置包括：指針壓力計或數顯測壓儀。

可選的，尾氣處理塔包括多個端口，每個端口設置有尾氣處理塔燃燒室端口清理裝置。

可選的，蓋子、增壓閥和泄壓閥位于參考室的外部。