[實用新型]尾氣處理塔燃燒室端口清理裝置和尾氣處理塔

有效

• 申請號: 201721017680.3
• 申請日: 2017-08-15
• 公開（公告）號: CN207365078U
• 公開（公告）日: 2018-05-15
• 發明（設計）人: 劉超;肖鐵城;褚海東;王楊;蘇曉華
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（天津）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: F23J3/00
• 分類號: F23J3/00;F23J11/00
• 代理公司: 上海立群專利代理事務所(普通合伙) 31291
• 代理人: 侯莉;毛立群

1.一種尾氣處理塔燃燒室端口清理裝置，其特征在于，包括：

設置在所述端口外的伸縮件，其在內部壓力驅動下可沿軸向整體伸長與縮短；

設置在所述端口中，與所述伸縮件軸向一端部相連的清理件。

2.根據權利要求1所述的尾氣處理塔燃燒室端口清理裝置，其特征在于，所述伸縮件的側壁為折疊結構。

3.根據權利要求1所述的尾氣處理塔燃燒室端口清理裝置，其特征在于，還包括：設置于所述伸縮件軸向另一端部的增壓閥和泄壓閥。

4.根據權利要求3所述的尾氣處理塔燃燒室端口清理裝置，其特征在于，還包括：設置于所述伸縮件軸向另一端部的蓋子，所述增壓閥和所述泄壓閥設置于所述蓋子的頂壁或側壁。

5.根據權利要求1所述的尾氣處理塔燃燒室端口清理裝置，其特征在于，還包括：與所述清理件相配合的導流管，所述導流管內接于所述端口的內壁。

6.根據權利要求5所述的尾氣處理塔燃燒室端口清理裝置，其特征在于，所述導流管包括：螺旋導流管或斜向導流管。

7.根據權利要求1所述的尾氣處理塔燃燒室端口清理裝置，其特征在于，所述清理件包括：彈簧、清理桿或清理刷。

8.根據權利要求1所述的尾氣處理塔燃燒室端口清理裝置，其特征在于，所述伸縮件軸向端部與所述清理件連接的方式包括：活動連接或固定連接。

9.根據權利要求1所述的尾氣處理塔燃燒室端口清理裝置，其特征在于，所述伸縮件、所述清理件和所述端口的軸向方向一致。

10.一種尾氣處理塔，其特征在于，包括：

權利要求1-9中任一一種尾氣處理塔燃燒室端口清理裝置；

位于所述尾氣處理塔燃燒室端口清理裝置下方的燃燒室，所述燃燒室的室壁設置有與所述燃燒室內部連通的所述端口；

通過所述端口與所述燃燒室的內部連通的參考室，所述伸縮件的另一端部固定連接在所述參考室的內壁；

設置在所述參考室進氣口處的壓力測量裝置。

11.根據權利要求10所述的尾氣處理塔，其特征在于，還包括：控制裝置，所述壓力測量裝置通過所述控制裝置與所述伸縮件相連接。

12.根據權利要求10所述的尾氣處理塔，其特征在于，所述壓力測量裝置包括：指針壓力計或數顯測壓儀。

13.根據權利要求10所述的尾氣處理塔，其特征在于，所述尾氣處理塔包括多個所述端口，每個所述端口設置有所述尾氣處理塔燃燒室端口清理裝置。