[實用新型]用于校正管式PECVD石墨舟菱形卡點的扳手有效
| 申請號： | 201721008818.3 | 申請日： | 2017-08-14 |
| 公開（公告）號： | CN207165530U | 公開（公告）日： | 2018-03-30 |
| 發明（設計）人： | 馬岳輝;彭平;夏中高;顧鵬 | 申請（專利權）人： | 平煤隆基新能源科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/673 | 分類號： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 鄭州科維專利代理有限公司41102 | 代理人： | 王年年 |
| 地址： | 452670 河南省許*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 校正 pecvd 石墨 菱形 扳手 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于校正管式PECVD石墨舟菱形卡點的扳手，其特征在于：包括基板，所述基板靠近下端位置開有若干個菱形卡口，所述若干卡口的角度傾角均不相同，所述基板靠近上端位置還設置有若干個標識，所述若干標識與若干個菱形卡口一一對應。
2.根據權利要求1所述的用于校正管式PECVD石墨舟菱形卡點的扳手，其特征在于：所述菱形卡口設置為三個，其較長的對角線的傾角分別為90°、60°和45°。
3.根據權利要求2所述的用于校正管式PECVD石墨舟菱形卡點的扳手，其特征在于：所述三個菱形卡口呈三角形分布。
4.根據權利要求2所述的用于校正管式PECVD石墨舟菱形卡點的扳手，其特征在于：所述標識設置為三條直線標識，所述標識與相應的菱形卡口較長的對角線之間的相互垂直。
5.根據權利要求1所述的用于校正管式PECVD石墨舟菱形卡點的扳手，其特征在于：所述基板上端和下端均為圓弧。
6.根據權利要求1所述的用于校正管式PECVD石墨舟菱形卡點的扳手，其特征在于：所述基板靠近上端的寬度大于靠近下端的寬度。
7.根據權利要求1所述的用于校正管式PECVD石墨舟菱形卡點的扳手，其特征在于：所述基板靠近上端的中間位置還開有用于固定基板的通孔。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
