[實用新型]一種二極管酸洗裝置有效
| 申請號: | 201720960625.1 | 申請日: | 2017-08-03 |
| 公開(公告)號: | CN207441663U | 公開(公告)日: | 2018-06-01 |
| 發明(設計)人: | 李超;何衛強 | 申請(專利權)人: | 深圳市佰士晟科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市羅*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 操作槽 支撐板 滑槽 二極管 分隔板 本實用新型 第二滑塊 第一滑塊 酸洗裝置 上端 操作板 螺紋孔 液壓缸活塞桿 內螺紋連接 側壁連接 酸洗處理 第二槽 第一槽 螺紋桿 上端面 酸洗液 液壓缸 風機 水箱 使用率 側壁 分隔 內壁 腔室 豎直 下端 連通 室內 | ||
1.一種二極管酸洗裝置,包括操作槽(1),其特征在于,所述操作槽(1)內設有腔室(2),所述腔室(2)內設有水箱(3),所述操作槽(1)內設有分隔板(4),所述分隔板(4)將操作槽(1)分隔成第一槽(5)和第二槽(6),所述分隔板(4)的上端面設有凹槽(7),所述凹槽(7)的左右兩端內壁上均豎直設有第一滑槽(8),兩個所述第一滑槽(8)內均設有第一滑塊(9),所述凹槽(7)內設有支撐板(10),所述支撐板(10)的左右兩端分別與兩塊第一滑塊(9)的側壁連接,所述支撐板(10)上設有風機(11),所述凹槽(7)的底部設有液壓缸(12),所述液壓缸(12)活塞桿的上端與支撐板(10)的下端連接,所述操作槽(1)的上端設有操作板(13),所述操作板(13)上設有第二滑槽(14),所述第二滑槽(14)內設有第二滑塊(15),所述第二滑塊(15)的側壁上設有左右連通的第一螺紋孔,且第一螺紋孔內螺紋連接有第一螺紋桿(16),所述第一螺紋桿(16)一端與第二滑槽(14)的側壁轉動連接,所述第一螺紋桿(16)的另一端穿過第二滑槽(14)的側壁并延伸至操作板(13)外,所述第二滑塊(15)上端設有上下連通的第二螺紋孔,且第二螺紋孔內螺紋連接有第二螺紋桿(17),所述第二螺紋桿(17)的下端穿過第二滑槽(14)的底部并延伸至操作板(13)的下方,所述第二螺紋桿(17)的下端連接有多個連接桿(18),所述連接桿(18)的下端連接U形件(19),且U形件(19)由兩塊豎板和一塊橫板組成,所述U形件(19)兩塊豎板相對的側壁均連接有彈簧(20),所述彈簧(20)遠離U形件(19)的豎板一端連接有夾板(21),所述夾板(21)的下端與U形件(19)的橫板滑動連接,所述操作槽(1)靠近第一槽(5)的一端內壁上連接有噴頭(22),且噴頭(22)與水箱(3)連接,所述操作槽(1)的側壁上連接有第一排液管(23),所述操作槽(1)遠離第一排液管(23)一端的側壁上連接有第二排液管(24)。
2.根據權利要求1所述的一種二極管酸洗裝置,其特征在于,所述第一槽(5)內盛放有酸洗液,所述第二槽(6)內盛放有酒精。
3.根據權利要求1所述的一種二極管酸洗裝置,其特征在于,所述第一螺紋桿(16)位于第二滑槽(14)外的一端上連接有第一手柄,所述第二螺紋桿(17)的上端連接有第二手柄。
4.根據權利要求1所述的一種二極管酸洗裝置,其特征在于,所述噴頭(22)與水箱(3)內的抽水泵連接。
5.根據權利要求1所述的一種二極管酸洗裝置,其特征在于,所述第一排液管(23)和第二排液管(24)上均設有流量控制閥。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





