[發明專利]一種納米結構的半導體

在審

• 申請號: 201711225054.8
• 申請日: 2017-11-29
• 公開（公告）號: CN109839407A
• 公開（公告）日: 2019-06-04
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 泰瑞科微電子（淮安）有限公司
• 主分類號: G01N27/00
• 分類號: G01N27/00;B82Y30/00;B82Y15/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種納米結構的半導體，本發明以氧化銦、氧化錫、及二氧化鈦等金屬氧化物半導體為研究主體，以通過半導體材料納米結構化提高其性能為目的，納米結構與材料氣敏、光催化性能之間的關系，通過在In2O3/SnO2復合網狀納米纖維（ISc）上負載La0.7Sr0.3FeO3納米粒子獲得了一種具有抗濕能力的三甲胺氣體（TMA）敏感材料（LISc）。

2.根據權利要求1所述的當濕度達到85%時，此傳感材料制成的傳感器對1ppm TMA仍有很靈敏的響應，靈敏度可以達到6，經過60天連續測試后，我們可以看出在不同濃度的TMA氣氛中，LISc傳感器的響應隨時間延長幾乎不變，說明其穩定性很高，高效、靈敏、穩定的TMA敏感性能主要得益于所得復合材料的異質結構和多孔網狀結構。

3.根據權利要求1所述的采用異丙醇和甘油的混合溶劑，通過調控實驗參數分別合成了球狀銦甘油鹽前驅體和由納米片組裝的多級花狀的空心銦甘油鹽前驅體，所得前驅體經過熱處理（在空氣氣氛中350°C煅燒2h）即可得到對應的由約30nm粒子組成的納米球狀和由薄片組裝的多級花狀空心In2O3納米材料。

4.根據權利要求1所述的以異丙醇鈦和甘油為反應原料，在無模板的條件下，以溶劑熱法合成了多級花狀鈦甘油鹽，通過調變異丙醇鈦的濃度及異丙醇混合溶劑的用量來調控鈦甘油鹽前驅體的形貌，我們發現異丙醇鈦的濃度及異丙醇混合溶劑的用量對前驅體的形貌有很大的影響。