[實用新型]靶材研磨機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720945130.1
• 申請日: 2017-07-31
• 公開（公告）號: CN207206083U
• 公開（公告）日: 2018-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 尤小磊;常艷超;臧衛(wèi)祥;程小明;丁靜仁;王冬振;徐東起
• 申請（專利權(quán)）人: 愛發(fā)科電子材料（蘇州）有限公司
• 主分類號: B24B21/04
• 分類號: B24B21/04;B24B21/18;B24B21/20
• 代理公司: 無錫市匯誠永信專利代理事務(wù)所(普通合伙)32260
• 代理人: 張歡勇

1.靶材研磨機，包括機架(1)、基座(2)、傳動輪和拋光帶(3)，其特征在于：所述基座(2)設(shè)置在所述機架(1)的上方，所述傳動輪設(shè)置在所述基座(2)上，所述傳動輪包括驅(qū)動輪(4)、研磨調(diào)節(jié)輪(5)和張緊調(diào)節(jié)輪(6)，所述驅(qū)動輪(4)、研磨調(diào)節(jié)輪(5)和張緊調(diào)節(jié)輪(6)呈三角形分布，所述驅(qū)動輪(4)由第一電機驅(qū)動工作，所述拋光帶(3)套設(shè)所述驅(qū)動輪(4)、研磨調(diào)節(jié)輪(5)和張緊調(diào)節(jié)輪(6)上，所述驅(qū)動輪(4)與所述研磨調(diào)節(jié)輪(5)之間的拋光帶(3)下方設(shè)置有工作平臺(7)，所述工作平臺(7)下方設(shè)置有平臺控制裝置，所述平臺控制裝置包括轉(zhuǎn)軸(8)和旋轉(zhuǎn)臺(9)，所述轉(zhuǎn)軸(8)與所述旋轉(zhuǎn)臺(9)連接，且所述工作平臺(7)設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)臺(9)的上，所述轉(zhuǎn)軸(8)由第二電機(10)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)，所述基座(2)上開設(shè)有研磨調(diào)節(jié)槽(51)和張緊調(diào)節(jié)槽(61)，所述基座(2)與所述機架(1)之間設(shè)有滑塊(11)和與所述滑塊(11)相配合的滑軌(12)，所述滑塊(11)在滑軌(12)上能夠沿著拋光帶(3)垂直運動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材研磨機，其特征在于：所述研磨調(diào)節(jié)槽(51)平行于所述工作平臺(7)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材研磨機，其特征在于：所述張緊調(diào)節(jié)槽(61)垂直于所述工作平臺(7)，所述張緊調(diào)節(jié)輪(6)沿著所述張緊調(diào)節(jié)槽(61)能夠調(diào)節(jié)拋光帶(3)的張緊度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材研磨機，其特征在于：所述工作平臺(7)上設(shè)有靶材調(diào)節(jié)槽(71)，所述靶材調(diào)節(jié)槽(71)包括第一靶材調(diào)節(jié)槽(711)和第二靶材調(diào)節(jié)槽(712)，所述第一靶材調(diào)節(jié)槽(711)平行于所述拋光帶(3)，所述第二靶材調(diào)節(jié)槽(712)垂直于所述拋光帶(3)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材研磨機，其特征在于：所述驅(qū)動輪(4)與所述張緊調(diào)節(jié)輪(6)之間設(shè)有冷卻槽(13)，所述冷卻槽(13)包括槽體(131)、進水管(132)和出水管(133)，所述進水管(132)與外部自來水相連，所述進水管(132)的位置低于所述出水管(133)的位置。