[實用新型]靶材粘接用隔熱保溫裝置

有效

• 申請號: 201720942879.0
• 申請日: 2017-07-31
• 公開（公告）號: CN207145873U
• 公開（公告）日: 2018-03-27
• 發明（設計）人: 鄭海軍;王國增;張玉河
• 申請（專利權）人: 愛發科電子材料（蘇州）有限公司
• 主分類號: F16L59/02
• 分類號: F16L59/02
• 代理公司: 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙)32260
• 代理人: 張歡勇

技術領域

本實用新型涉及隔熱裝置技術領域，尤其涉及一種靶材粘接用隔熱保溫裝置。

背景技術

鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在保護板上形成各種功能薄膜的濺射源。簡單說的話，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料，用于高能激光設備中，不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時，會產生不同的濺射效應。例如：蒸發磁控濺射鍍膜是加熱蒸發鍍膜、鋁膜等。更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。

通常企業在出售時出售的是靶材制品。靶材制品是將一長方形背板(固定在高能激光設備上)與靶材通過特定的粘接劑粘接在一起。而在粘接時，通常需要將背板的粘接面、靶材的粘接面及粘接劑通過加熱裝置(一般為一長方形加熱平臺，平臺中部設有加熱箱)加熱到200℃左右才能達到良好的粘接效果。若直接將背板和靶材直接放置在加熱裝置上加熱，背板、靶材與加熱裝置接觸的一面則會由于溫度太高而變形。若是背板變形，則影響固定在高能激光設備上時的固定效果；若是靶材變形，則嚴重影響客戶在使用靶材制品濺射時的濺射效果，所以需要一個將背板與加熱裝置、將靶材與加熱裝置隔開的隔熱裝置。工廠在生產時通常采用耐高溫薄膜，但是耐高溫薄膜易變形，使用一次就需要更換，使用壽命短且成本高。

實用新型內容

為克服上述缺點，本實用新型的目的在于提供一種使用壽命長且成本低的靶材粘接用隔熱保溫裝置。

為了達到以上目的，本實用新型采用的技術方案是：一種靶材粘接用隔熱保溫裝置，包括長方形的面板，所述面板中部設有長方形內孔，所述面板包括相互擠壓粘接成一體的中部層和位于所述中部層兩側表面的保護層，所述中部層為多晶莫來石纖維層，所述保護層為玻鎂防火板，所述中部層與所述保護層之間粘接有碳纖維網格布。本實用新型通過采用多晶莫來石纖維層，熱穩定性非常好，在空氣中最高可承受1400℃以上的高溫，熱傳導系數低，具有較好的保溫隔熱效果；通過采用玻鎂防火板，玻鎂防火板隔熱耐高溫性能好，在高溫下不易碳化，保證了隔熱板厚度損失小；通過采用碳纖維網格布，由于碳纖維是一種含碳量在95％以上的高強度、高模量纖維的新型纖維材料，在空氣中最高可承受400℃的高溫，所以粘接碳纖維網格布在中部層與保護層之間能起到基礎支撐作用；通過采用長方形內孔，該內孔與加熱平臺的加熱部分相匹配，留出加熱位置；通過采用多晶莫來石纖維層、玻鎂防火板、碳纖維網格布的結構，具有較好的隔熱保溫性能，且在空氣中不易碳化，使用壽命久，與一次性耐高溫薄膜相比成本更低，使用壽命更久。

優選地，所述中部層設有至少兩層。本實用新型通過采用至少兩層的中部層，隨著層數的增加，保溫隔熱性能提高。

優選地，所述面板上表面粘接有特氟瓏布。本實用新型通過采用特氟瓏布，特氟瓏是一種高分子化合物，化學性質穩定，最高可承受350℃的高溫，具有良好的保溫隔熱性。

優選地，所述面板的四邊均連有側板。本實用新型通過采用側板，能夠將面板準確的固定在加熱平臺上，不會由于移動背板和靶材導致面板移動，以至于還需要人員去調整。

優選地，所述面板與每個所述側板均通過阻尼鉸鏈相連。本實用新型通過采用阻尼鉸鏈，可拆卸地將面板和側板相連接，當需要更換面板或側板時，直接拆下面板即可，降低成本，在需要更換加熱平臺時也更便捷。

優選地，每個所述側板下部均連有定位板。本實用新型通過采用定位板，在使用時將面板準確的固定在加熱平臺上，不會出現用向上的力即可將面板與加熱平臺分離的情況。

優選地，每個所述定位板與每個所述側板均通過阻尼鉸鏈相連。本實用新型通過采用阻尼鉸鏈，可拆卸地將定位板與側板相連，當需要更換側板或定位板時，直接拆下即可，降低成本，在需要更換加熱平臺時也更便捷。

附圖說明

圖1為本實用新型的主視圖；

圖2為本實用新型的剖視圖；

圖3為本實用新型面板的結構示意圖；

圖4為本實用新型另一種實施例面板的結構示意圖；

圖5為本實用新型面板另一種實施例的主視圖；

圖6為本實用新型面板另一種實施例的剖視圖；

圖7為本實用新型面板另一種實施例面板的結構示意圖。

圖中：

1-面板；11-中部層；12-保護層；13-碳纖維網格布；14-特氟瓏布；2-內孔；3-側板；4-阻尼鉸鏈；5-定位板；6-加熱平臺。

具體實施方式