[實用新型]一種光刻機專用基片定位裝置

有效

• 申請號: 201720919522.0
• 申請日: 2017-07-27
• 公開（公告）號: CN207037328U
• 公開（公告）日: 2018-02-23
• 發明（設計）人: 張華麗;陳科;冒衛星;黃明宇
• 申請（專利權）人: 南通大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙)32249
• 代理人: 顧森燕

1.一種光刻機專用基片定位裝置，包括光刻機以及安裝在光刻機底座上的定位裝置，其特征在于：所述定位裝置包括基座，支撐桿，光源定位桿及基片定位桿，其中：

基座通過螺栓固定在底座上，而支撐桿固定在基座上表面，所述光源定位桿固定在支撐桿頂端，其自由端具有半圓環卡在光刻機的光源上，所述基片定位桿固定在基座側面，其自由端具有基片定位環，且基片定位桿與光源定位桿平行，同時基片定位環圓心與半圓環圓心及光源中心在同一垂直線上。

2.根據權利要求1所述的光刻機專用基片定位裝置，其特征在于：所述基片定位桿兩端均具有外螺紋，且表面具有尺寸刻度，基片定位環螺紋固定在基片定位桿端部，且可根據基片尺寸大小進行基片定位環更換，同時基片定位桿螺紋固定在基座側面，且根據基片定位環的尺寸結合尺寸刻度進行擰入尺寸調節，確保基片定位環圓心與半圓環圓心同一垂直線。