[實用新型]帶電量測定裝置有效
| 申請號： | 201720884993.2 | 申請日： | 2017-07-20 |
| 公開（公告）號： | CN207301185U | 公開（公告）日： | 2018-05-01 |
| 發明（設計）人： | 巖井正寬 | 申請（專利權）人： | 蘇州住友電木有限公司 |
| 主分類號： | G01R29/24 | 分類號： | G01R29/24 |
| 代理公司： | 上海華誠知識產權代理有限公司31300 | 代理人： | 劉煜 |
| 地址： | 215021 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電量 測定 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種帶電量測定裝置，其特征在于，具有：
使半導體芯片帶靜電的帶電裝置；以及
測定利用所述帶電裝置帶電的所述半導體芯片的帶電量的測定裝置，
所述帶電裝置具有：
載置被測定物的載置臺，所述被測定物的至少上表面是密封半導體芯片的密封樹脂；
靜電產生機構，該靜電產生機構通過水平方向反復摩擦載置于所述載置臺的所述被測定物的所述上表面而在所述被測定物產生靜電。
2.如權利要求1所述的帶電量測定裝置，其特征在于，
所述靜電產生機構具有：
與所述被測定物的所述上表面接觸的接觸部件；以及
使所述接觸部件上下移動，并且使所述接觸部件沿著水平方向往復移動的驅動機構。
3.如權利要求2所述的帶電量測定裝置，其特征在于，
所述接觸部件為橡膠。
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