[實用新型]一種用于硅片裝片機的緩存裝置

有效

• 申請號: 201720872850.X
• 申請日: 2017-07-18
• 公開（公告）號: CN207068897U
• 公開（公告）日: 2018-03-02
• 發明（設計）人: 趙剛;沈杰
• 申請（專利權）人: 杭州研卓智能科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于硅片裝片機的緩存裝置，其特征在于：包括硅片緩存盒和傳送機構，所述傳送機構包括豎直設置的直線模組和安裝在所述直線模組底端的伺服電機，所述直線模組包括豎直設置的導軌，所述導軌的前側豎直安裝有絲桿，所述絲桿上活動安裝有滑塊，所述導軌的后側安裝有導軌支撐件，所述伺服電機的頂端安裝有電機座，所述電機座頂端與所述導軌的底端相固連；所述滑塊上安裝有緩存盒支撐架，所述緩存盒支撐架上安裝有所述硅片緩存盒；所述伺服電機連接安裝有傳感器。

2.根據權利要求1所述的一種用于硅片裝片機的緩存裝置，其特征在于：所述電機座為框架結構，包括頂板、底板和連接所述頂板和底板的立柱，所述頂板上開設有絲桿孔，所述底板上開設有電機軸孔，所述絲桿穿過所述絲桿孔，所述伺服電機的電機軸穿過所述電機軸孔后與穿過所述絲桿孔的絲桿于所述電機座內相連。

3.根據權利要求2所述的一種用于硅片裝片機的緩存裝置，其特征在于：所述導軌的底端通過螺紋安裝在所述頂板上。

4.根據權利要求1所述的一種用于硅片裝片機的緩存裝置，其特征在于：所述硅片緩存盒為前后貫通設置，所述硅片緩存盒內設有多個硅片插槽。

5.根據權利要求1所述的一種用于硅片裝片機的緩存裝置，其特征在于：所述導軌支撐件為直角三角形，具有導軌支撐件第一直角邊和導軌支撐件第二直角邊，所述導軌支撐件第一直角邊連接所述導軌，導軌支撐件第二直角邊為水平設置。

6.根據權利要求1所述的一種用于硅片裝片機的緩存裝置，其特征在于：所述緩存盒支撐架為直角三角形，具有緩存盒支撐架第一直角邊和緩存盒支撐架第二直角邊，所述緩存盒支撐架第一直角邊連接所述硅片緩存盒，緩存盒支撐架第二直角邊連接所述滑塊。