[實(shí)用新型]一種新型硅片糾偏裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720872740.3
• 申請(qǐng)日: 2017-07-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207009424U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-02-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉照安;朱太榮;謝越森;林佳繼;伊凡·裴力林
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市拉普拉斯能源技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683;H01L21/68;H01L31/18
• 代理公司: 深圳市中科創(chuàng)為專利代理有限公司44384
• 代理人: 曹紅梅,蘇芳

1.一種新型硅片糾偏裝置，其特征在于，包括翻轉(zhuǎn)模組、吸盤模組、角度調(diào)整模組、X軸調(diào)整模組、Y軸調(diào)整模組；所述角度調(diào)整模組驅(qū)動(dòng)吸盤模組轉(zhuǎn)動(dòng)以調(diào)整其吸盤的角度；所述Y軸調(diào)整模組驅(qū)動(dòng)吸盤模組進(jìn)行Y方向的位置調(diào)整；所述翻轉(zhuǎn)模組用于將吸盤模組、角度調(diào)整模組、Y軸調(diào)整模組同時(shí)翻轉(zhuǎn)換向；所述X軸調(diào)整模組設(shè)置于吸盤模組下方，且與翻轉(zhuǎn)模組可拆卸式連接；所述X軸調(diào)整模組用于承接翻轉(zhuǎn)換向后的所述吸盤模組上的角度及Y方向位置調(diào)整好后的硅片，并對(duì)該硅片進(jìn)行X方向的位置調(diào)整。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型硅片糾偏裝置，其特征在于，所述翻轉(zhuǎn)模組包括翻轉(zhuǎn)電機(jī)、第一皮帶輪、第二皮帶輪、第一皮帶、翻轉(zhuǎn)軸、第一安裝板、第二安裝板；所述第一安裝板橫截面為L(zhǎng)型，且其橫端與第二安裝板的一端可拆卸式連接；所述第一安裝板的豎端、第二安裝板的另一端均設(shè)置通孔；所述第一皮帶輪設(shè)置于第一安裝板豎端通孔的第二安裝板一側(cè)，翻轉(zhuǎn)電機(jī)設(shè)置于該通孔的另一側(cè)，且翻轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出軸穿過(guò)該通孔與第一皮帶輪連接；所述第二皮帶輪設(shè)置于第二安裝板通孔的第一皮帶輪一側(cè)，翻轉(zhuǎn)軸設(shè)置于該通孔的另一側(cè)，且翻轉(zhuǎn)軸的一端穿過(guò)該通孔與第二皮帶輪連接；所述第一皮帶輪與第二皮帶輪經(jīng)第一皮帶傳動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的新型硅片糾偏裝置，其特征在于，所述吸盤模組包括第一吸盤、第二吸盤、吸盤主軸、第三安裝板；所述第三安裝板的一端設(shè)置圓形通孔，另一端設(shè)置帶開(kāi)口的矩形通孔；所述吸盤主軸穿過(guò)第三安裝板的圓形通孔，且兩端分別設(shè)置第一吸盤、第二吸盤；所述翻轉(zhuǎn)軸的另一端與第三安裝板的矩形通孔一端可拆卸式連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的新型硅片糾偏裝置，其特征在于，所述角度調(diào)整模組包括角度調(diào)整電機(jī)、第三皮帶輪、第四皮帶輪、第二皮帶；所述角度調(diào)整電機(jī)與第三皮帶輪垂直設(shè)置，且其輸出軸與第三皮帶輪連接；所述第四皮帶輪嵌套在吸盤主軸外側(cè)；所述第三皮帶輪與第四皮帶輪經(jīng)第二皮帶傳動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的新型硅片糾偏裝置，其特征在于，所述X軸調(diào)整模組包括第四安裝板、第五安裝板、X軸絲桿、X軸絲母、貼片吸盤、升降氣缸、X軸電機(jī)、第一滑塊；所述X軸電機(jī)設(shè)置在第四安裝板的一端，其輸出軸與X軸絲桿一端連接；所述第四安裝板的另一端兩側(cè)分別與X軸絲母、第二安裝板可拆卸式連接；所述第五安裝板一側(cè)經(jīng)X軸絲母與X軸絲桿活動(dòng)連接，另一側(cè)設(shè)置豎直導(dǎo)軌；所述第一滑塊與貼片吸盤垂直設(shè)置；所述升降氣缸驅(qū)動(dòng)第一滑塊沿豎直導(dǎo)軌做上下直線運(yùn)動(dòng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的新型硅片糾偏裝置，其特征在于，所述Y軸調(diào)整模組包括Y軸絲桿、Y軸電機(jī)、聯(lián)軸器、四交叉滾子導(dǎo)軌、第二滑塊；所述第二滑塊包括第一矩形塊、第二矩形塊、Y軸絲母，且三者一體成型；所述第一矩形塊寬度大于第二矩形塊寬度，且兩矩形塊均設(shè)置通孔；所述第一矩形塊的一側(cè)設(shè)置第二矩形塊，相鄰的一側(cè)設(shè)置Y軸絲母；所述第二滑塊平行設(shè)置在第三安裝板的上方；所述第二矩形塊的通孔嵌套在角度調(diào)整電機(jī)的主體與其輸出軸的連接處；所述第一矩形塊的通孔嵌套在吸盤主軸外側(cè)，且置于第四皮帶輪的下方；所述聯(lián)軸器一端與Y軸電機(jī)的輸出軸連接，另一端與Y軸絲桿連接；所述四交叉滾子導(dǎo)軌分別兩兩設(shè)置于第三安裝板的頂部圓形通孔兩側(cè)；所述Y軸電機(jī)靠近翻轉(zhuǎn)軸的一側(cè)與對(duì)應(yīng)的翻轉(zhuǎn)軸一側(cè)可拆卸式連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的新型硅片糾偏裝置，其特征在于，所述第三安裝板的圓形通孔的直徑大于吸盤主軸的直徑，以使吸盤主軸在Y軸調(diào)整模組的驅(qū)動(dòng)下能在第三安裝板的圓形通孔內(nèi)移動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的新型硅片糾偏裝置，其特征在于，所述翻轉(zhuǎn)模組還包括翻轉(zhuǎn)軸固定筒、兩翻轉(zhuǎn)軸承；所述翻轉(zhuǎn)軸與第三安裝板連接的一端為U型；所述U型開(kāi)口端與第三安裝板矩形通孔一端的寬度一致；所述翻轉(zhuǎn)軸固定筒一端外邊沿設(shè)置凸起部，該凸起部卡接在第二安裝板通孔的第二皮帶輪一側(cè)，另一端抵接在翻轉(zhuǎn)軸U型橫端；所述兩翻轉(zhuǎn)軸承分別設(shè)置在翻轉(zhuǎn)軸固定筒兩端的內(nèi)邊沿處；所述翻轉(zhuǎn)軸的U型異端穿過(guò)兩翻轉(zhuǎn)軸承與第二皮帶輪連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的新型硅片糾偏裝置，其特征在于，所述吸盤模組還包括吸盤主軸固定筒；所述吸盤主軸固定筒的一端外邊沿設(shè)置凸起部，該凸起部卡接在第一矩形塊通孔的四周頂部；所述吸盤主軸固定筒凸起部一端的內(nèi)邊沿設(shè)置臺(tái)階，吸盤主軸的對(duì)應(yīng)一端卡接在該臺(tái)階上。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的新型硅片糾偏裝置，其特征在于，所述Y軸調(diào)整模組還包括帶凹槽的聯(lián)軸器固定件、連接件；所述聯(lián)軸器置于所述凹槽中；所述聯(lián)軸器固定件的一側(cè)壁與第三安裝板圓形通孔一端的側(cè)面可拆卸式連接，底部經(jīng)連接件與第二吸盤可拆卸式連接。