[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體晶片的檢測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720832523.1
• 申請(qǐng)日: 2017-07-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206905725U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-01-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 向軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇新智達(dá)新能源設(shè)備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01B21/08
• 分類(lèi)號(hào): G01B21/08;H01L21/66
• 代理公司: 常州市權(quán)航專利代理有限公司32280
• 代理人: 袁興隆

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體晶片加工技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種半導(dǎo)體晶片的檢測(cè)裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體晶片是在半導(dǎo)體片材上進(jìn)行浸蝕，布線，制成的能實(shí)現(xiàn)某種功能的半導(dǎo)體器件，不只是硅芯片，常見(jiàn)的還包括砷化鎵、鍺等半導(dǎo)體材料，半導(dǎo)體晶片厚度的標(biāo)準(zhǔn)尺寸有公差要求，即厚度不能大于上公差、小于下公差，而且要求每片都要檢測(cè)；在現(xiàn)有生產(chǎn)工藝流程中，半導(dǎo)體晶片的厚度檢驗(yàn)是采用千分尺測(cè)量半導(dǎo)體晶片的十字對(duì)角四個(gè)點(diǎn)的厚度來(lái)判斷是否合格，檢驗(yàn)工作量相當(dāng)大，而且人工操作，繁瑣而勞累，誤差在所難免，效率低下，經(jīng)常造成半導(dǎo)體致冷器合格率達(dá)不到要求，中國(guó)實(shí)用新型CN203595477U中提出了一種半導(dǎo)體致冷器晶片厚度檢測(cè)裝置，該實(shí)用新型可以通過(guò)橫桿和標(biāo)準(zhǔn)平板對(duì)半導(dǎo)體晶片進(jìn)行檢測(cè)，但無(wú)法保證檢測(cè)的準(zhǔn)確性，從而導(dǎo)致檢測(cè)效率低，為此，我們提出一種半導(dǎo)體晶片的檢測(cè)裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種半導(dǎo)體晶片的檢測(cè)裝置，具備檢測(cè)準(zhǔn)確度高，提高了檢測(cè)效率的優(yōu)點(diǎn)，解決了傳統(tǒng)檢測(cè)裝置無(wú)法保證檢測(cè)的準(zhǔn)確性，導(dǎo)致檢測(cè)效率低的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種半導(dǎo)體晶片的檢測(cè)裝置，包括外殼，所述外殼內(nèi)壁的底部固定連接有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的左側(cè)固定連接有功率調(diào)節(jié)器，所述外殼內(nèi)壁的背面活動(dòng)連接有主動(dòng)輪，所述主動(dòng)輪的正面固定連接有傳動(dòng)軸，所述傳動(dòng)軸的表面設(shè)置有傳動(dòng)帶，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出端通過(guò)傳動(dòng)帶與傳動(dòng)軸傳動(dòng)連接，所述外殼內(nèi)壁的背面且位于主動(dòng)輪的左側(cè)活動(dòng)連接有從動(dòng)輪，所述從動(dòng)輪的表面設(shè)置有傳送帶，所述主動(dòng)輪通過(guò)傳送帶與從動(dòng)輪傳動(dòng)連接，所述傳送帶的頂部活動(dòng)連接有晶片本體，所述傳送帶的頂部且位于晶片本體的右側(cè)固定連接有反射板，所述外殼的頂部固定連接有紅外線測(cè)距儀，所述外殼內(nèi)壁的底部且位于驅(qū)動(dòng)電機(jī)的左側(cè)固定連接有處理器，所述外殼內(nèi)壁的底部且位于處理器的左側(cè)固定連接有厚度檢測(cè)器，所述外殼內(nèi)壁的底部且位于厚度檢測(cè)器的左側(cè)固定連接有語(yǔ)音提示器，所述外殼內(nèi)壁的底部且位于語(yǔ)音提示器的左側(cè)固定連接有揚(yáng)聲器，所述紅外線測(cè)距儀的輸出端與厚度檢測(cè)器的輸入端單向電性連接，所述厚度檢測(cè)器的輸出端與處理器的輸入端單向電性連接，所述處理器的輸出端分別與功率調(diào)節(jié)器和語(yǔ)音提示器的輸入端單向電性連接，所述功率調(diào)節(jié)器的輸出端與驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸入端單向電性連接，所述語(yǔ)音提示器的輸出端與揚(yáng)聲器的輸入端單向電性連接。

優(yōu)選的，所述外殼的左側(cè)且對(duì)應(yīng)揚(yáng)聲器的位置固定連接有揚(yáng)聲器蓋板。

優(yōu)選的，所述紅外線測(cè)距儀的背面固定連接有固定架，所述固定架固定連接在外殼的頂部且位于傳送帶的背面，所述傳送帶的表面且對(duì)應(yīng)晶片本體和反射板的位置均開(kāi)設(shè)有限位槽。

優(yōu)選的，所述外殼內(nèi)壁的底部且位于處理器的右側(cè)固定連接有存儲(chǔ)器，所述存儲(chǔ)器的輸入端與處理器的輸出端單向電性連接。

優(yōu)選的，所述外殼的右側(cè)固定連接有顯示屏，所述外殼的右側(cè)且位于顯示屏的底部固定連接有控制按鈕，所述顯示屏的輸入端與處理器的輸出端單向電性連接，所述控制按鈕的輸出端與處理器的輸入端單向電性連接。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果如下：

1、本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置了紅外線測(cè)距儀，紅外線測(cè)距儀可以檢測(cè)晶片本體的頂部到紅外線測(cè)距儀之間的距離，通過(guò)設(shè)置了反射板，反射板的頂部與晶片本體的底部持平，使得紅外線測(cè)距儀可以檢測(cè)晶片本體底部至紅外線測(cè)距儀的距離，然后通過(guò)厚度檢測(cè)器計(jì)算出兩者之差，最后得出晶片本體的厚度，通過(guò)設(shè)置了語(yǔ)音提示器和揚(yáng)聲器，使得檢測(cè)裝置具備語(yǔ)音提示功能，通過(guò)晶片本體、反射板、紅外線測(cè)距儀和厚度檢測(cè)器的配合，解決了傳統(tǒng)檢測(cè)裝置無(wú)法保證檢測(cè)的準(zhǔn)確性，導(dǎo)致檢測(cè)效率低的問(wèn)題。

2、本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置了揚(yáng)聲器蓋板，加強(qiáng)了對(duì)揚(yáng)聲器的保護(hù)，通過(guò)設(shè)置了固定架，保證了紅外線測(cè)距儀運(yùn)行時(shí)的穩(wěn)定性，通過(guò)設(shè)置了限位槽，保證了晶片本體運(yùn)行時(shí)的穩(wěn)定性，通過(guò)設(shè)置了存儲(chǔ)器，使得檢測(cè)裝置可以記錄和存儲(chǔ)檢測(cè)數(shù)據(jù)，通過(guò)設(shè)置了顯示屏和控制按鈕，方便用戶查看或設(shè)置檢測(cè)裝置。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型系統(tǒng)原理圖。

圖中：1外殼、2驅(qū)動(dòng)電機(jī)、3功率調(diào)節(jié)器、4主動(dòng)輪、5傳動(dòng)軸、6傳動(dòng)帶、7從動(dòng)輪、8傳送帶、9晶片本體、10反射板、11紅外線測(cè)距儀、12處理器、13厚度檢測(cè)器、14語(yǔ)音提示器、15揚(yáng)聲器、16揚(yáng)聲器蓋板、17固定架、18限位槽、19存儲(chǔ)器、20顯示屏、21控制按鈕。

具體實(shí)施方式