[實用新型]光刻設備綠色生態(tài)基座

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720812640.1
• 申請日: 2017-07-06
• 公開（公告）號: CN207115022U
• 公開（公告）日: 2018-03-16
• 發(fā)明（設計）人: 馬躍;尤健;張厚根;宋健;李偉
• 申請（專利權(quán)）人: 大連地拓重工有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;E02D27/44
• 代理公司: 大連東方專利代理有限責任公司21212
• 代理人: 趙淑梅,李洪福

技術(shù)領域

本實用新型涉及一種光刻設備基座。

背景技術(shù)

目前，基座在實際的制作過程中欲控制鋼鐵埋件的位置與高度且又須預留后續(xù)將澆灌環(huán)氧樹脂的厚度，其制作程序復雜而且耗時，若鋼鐵配件的安裝位精確度不符合需求，極可能影響以后此基座上所承載設備的安裝時程與日后生產(chǎn)的良率。

且混凝土表面必須粉刷抹平耗費人力，而為使基座表面平整且避免混凝土發(fā)生粉塵，必須澆灌經(jīng)常因天氣的溫度與濕度影響的自平環(huán)氧樹脂(epoxy)，既耗費人力亦受氣候影響難以掌控制程進度，另外，傳統(tǒng)混凝土制備消耗大量砂石料，成本較高。

實用新型內(nèi)容

根據(jù)上述提出的技術(shù)問題，而提供一種光刻設備綠色生態(tài)基座，用于解決現(xiàn)有的基座制作程序復雜而且耗時，若鋼鐵配件的安裝位精確度不符合需求，極可能影響以后此基座上所承載設備的安裝時程與日后生產(chǎn)的良率的缺點。本實用新型采用的技術(shù)手段如下：

一種光刻設備綠色生態(tài)基座，包括：框體結(jié)構(gòu)、鋼筋結(jié)構(gòu)和混凝土；所述的框體結(jié)構(gòu)包括鋼板焊接而成的長方體框架和箱體；所述的長方體框架設置于四角具有鋼鐵埋件的平臺上，所述平臺的上表面設置有用于固定長方體框架的固定件；所述的鋼筋結(jié)構(gòu)設置于框體結(jié)構(gòu)內(nèi)部；所述的鋼筋結(jié)構(gòu)為水平鋼筋和垂直鋼筋相互交叉連接而成的架體，所述的垂直鋼筋設置于所述的箱體外壁和長方體框架內(nèi)壁之間；所述的長方體框架內(nèi)壁、箱體外壁和鋼筋結(jié)構(gòu)間填充有尾礦、廢石制備的混凝土。

作為優(yōu)選所述的鋼鐵埋件為角鋼，使所述長方體框架的四個角的底部外壁同所述角鋼內(nèi)壁限位固定，所述的固定件設置有四個，分別緊貼所述長方體框架內(nèi)壁設置。

作為優(yōu)選所述的箱體為圓形箱體，所述箱體的直徑為α，所述框體結(jié)構(gòu)的寬度為β，β-α≥260mm。

作為優(yōu)選所述光刻設備綠色生態(tài)基座表面具有噴漆涂層。

作為優(yōu)選所述該混凝土每立方米中各組分重量為：粒度為0.2mm～2mm的尾礦180kg～200kg、粒度為5mm～10mm的廢石1600kg～1800kg、水泥180kg～200kg、礦粉200kg～240kg、聚羧酸高效減水劑1.2kg～1.3kg。

作為優(yōu)選所述的水平鋼筋水平方向橫豎組成網(wǎng)格狀架體，相鄰的所述水平鋼筋間的間隙為180mm-220mm，所述的垂直鋼筋在水平鋼筋的交叉節(jié)點上豎直設置，相鄰的所述垂直鋼筋的間距為180mm-220mm。

作為優(yōu)選相鄰的所述水平鋼筋間的間隙為200mm，所述水平鋼筋的直徑為12mm；相鄰的所述垂直鋼筋的間距為200mm，所述垂直鋼筋的直徑為12mm。

與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本實用新型所述的光刻設備綠色生態(tài)基座，采用圓形空間結(jié)構(gòu)，基座強度更高，且采用尾礦、廢石制備的混凝土，替代砂石料，制作成本低，性能更好，混凝土表面鋼板包裹，無需粉刷抹平，能滿足光刻設備高等級防微振性能和潔凈室無粉塵要求。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明。

圖1是本實用新型平臺立體示意圖。

圖2是本實用新型平臺與框體結(jié)構(gòu)及箱體的組合示意圖。

圖3是本實用新型框體結(jié)構(gòu)與平臺組合示意圖。

圖4是本實用新型框體結(jié)構(gòu)與平臺拆卸示意圖。

其中：1、基座，10、框體結(jié)構(gòu)，20、鋼筋結(jié)構(gòu)，30、混凝土，101、鋼板，102、箱體，11、平臺，111、鋼鐵埋件，112、固定件，21、水平鋼筋，22、垂直鋼筋。

具體實施方式

如圖1到圖4所示，一種光刻設備綠色生態(tài)基座，包括：框體結(jié)構(gòu)10、鋼筋結(jié)構(gòu)20和混凝土30；所述的框體結(jié)構(gòu)10包括多塊鋼板101焊接而成的長方體框架和箱體102；所述的箱體102為圓形箱體，圓形抗壓能力最強。設置箱體102的目的是要減輕整個基座的重量，但同時不能降低基座的抗壓和抗彎曲的能力，根據(jù)整體基座的大小來設置箱體102的數(shù)量。

所述箱體102的直徑為α，所述框體結(jié)構(gòu)的寬度為β，β-α≥260mm，箱體102的尺寸比基座的寬度小260mm，保證基座壁厚最少為130mm，來達到基座強度不變的情況下，重量最輕。

所述的長方體框架設置于四角具有鋼鐵埋件112的平臺11上，所述平臺11的上表面設置有用于固定長方體框架的固定件112；所述的鋼鐵埋件111為角鋼，使所述長方體框架的四個角的底部外壁同所述角鋼內(nèi)壁限位固定，所述的固定件112設置有四個，分別緊貼所述長方體框架內(nèi)壁設置。