[實用新型]一種碳化硅加工用晶棒研磨裝置

有效

• 申請號: 201720790312.6
• 申請日: 2017-07-03
• 公開（公告）號: CN207578155U
• 公開（公告）日: 2018-07-06
• 發明（設計）人: 宗艷民;柏文文;孫詩甫
• 申請（專利權）人: 山東天岳先進材料科技有限公司
• 主分類號: B24B37/02
• 分類號: B24B37/02;B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34
• 代理公司: 濟南舜源專利事務所有限公司 37205
• 代理人: 苗峻

本實用新型公開了一種碳化硅加工用晶棒研磨裝置，包括研磨模具和機架，所述機架的兩側固定連接于側板的底部，所述側板的內側固定連接于導柱的一端，所述導柱的另一端滑動套接于導套的內腔中，所述導套固定連接于研磨模具的外側，所述研磨模具與側板之間還安裝有第二氣缸，所述機架的兩端固定連接于龍門架的底部，所述龍門架上固定連接有第一氣缸，所述第一氣缸的伸縮端通過轉軸轉動連接有夾座，所述夾座內夾持固定有待研磨的晶棒。本實用新型通過彈簧可以逐漸增加研磨模具對晶棒的研磨厚度，通過控制研磨模具的內徑可以精確的控制晶棒的研磨精度，晶棒的研磨精度和研磨效率大大提高。

技術領域

本實用新型屬于碳化硅加工裝置技術領域，具體涉及一種碳化硅加工用晶棒研磨裝置。

背景技術

碳化硅，是剛玉寶石中除紅色的紅寶石之外，其它顏色剛玉寶石的通稱，主要成分是氧化鋁(Al2O3)，碳化硅具有高聲速、高硬度、高強度、耐高溫、抗腐蝕性、光學穿透帶寬、絕緣性好等優良性能，因而被大量用在光學元件、紅外裝置及光罩材料上，是光電領域內一種重要的基礎性材料。在晶棒成型之后首先要對晶棒表面進行拋光研磨，現有晶棒研磨設備研磨精度難以控制，導致晶棒損耗增加，研磨效率低。

發明內容

本實用新型的目的在于提供一種碳化硅加工用晶棒研磨裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種碳化硅加工用晶棒研磨裝置，包括研磨模具和機架，所述機架的兩側固定連接于側板的底部，所述側板的內側固定連接于導柱的一端，所述導柱的另一端滑動套接于導套的內腔中，所述導套固定連接于研磨模具的外側，所述研磨模具與側板之間還安裝有第二氣缸，所述機架的兩端固定連接于龍門架的底部，所述龍門架上固定連接有第一氣缸，所述第一氣缸的伸縮端通過轉軸轉動連接有夾座，所述夾座內夾持固定有待研磨的晶棒。

優選的，所述導套的內腔中安裝有彈簧。

優選的，所述研磨模具呈半環形結構，并相對設置，所述研磨模具的內壁上固定連接有一層研磨層，且相對設置的研磨模具的邊緣設置有彼此相互配合的定位銷和定位孔。

優選的，其中一個所述夾座上的轉軸的一端連接于電機的輸出軸。

優選的，所述晶棒位于研磨模具合模時的圓心處。

優選的，所述機架上安裝有收集槽，所述收集槽位于研磨模具的正下方。

本實用新型的技術效果和優點：該碳化硅加工用晶棒研磨裝置，通過彈簧可以推動導套，進而將研磨模具向晶棒推動，逐漸增加研磨的厚度，當研磨模具通過定位銷和定位孔完成合模時，經過研磨后的晶棒的直徑和研磨模具合模 時形成的內徑相同，完成研磨，通過控制研磨模具的內徑可以精確的控制晶棒的研磨精度，晶棒的研磨精度和研磨效率大大提高。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型的側視構示意圖；

圖3為本實用新型的圖1中A處放大結構示意圖。

圖中：1研磨模具、101定位銷、102定位孔、2第一氣缸、3龍門架、4晶棒、5轉軸、6導套、7導柱、8彈簧、9收集槽、10機架、11第二氣缸、12側板、13研磨層、14電機、15夾座。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。