[實用新型]一種碳化硅加工用晶棒研磨裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720790312.6 | 申請日： | 2017-07-03 |
| 公開（公告）號： | CN207578155U | 公開（公告）日： | 2018-07-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 宗艷民;柏文文;孫詩甫 | 申請（專利權(quán)）人： | 山東天岳先進材料科技有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/02 | 分類號： | B24B37/02;B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34 |
| 代理公司： | 濟南舜源專利事務(wù)所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250100 山東省濟南市高新區(qū)*** | 國省代碼： | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 研磨 晶棒 模具 側(cè)板 氣缸 本實用新型 研磨裝置 龍門架 碳化硅 導(dǎo)套 導(dǎo)柱 夾座 滑動套接 兩端固定 研磨效率 逐漸增加 轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動 內(nèi)腔中 伸縮端 彈簧 內(nèi)夾 加工 | ||
1.一種碳化硅加工用晶棒研磨裝置，包括研磨模具(1)和機架(10)，其特征在于：所述機架(10)的兩側(cè)固定連接于側(cè)板(12)的底部，所述側(cè)板(12)的內(nèi)側(cè)固定連接于導(dǎo)柱(7)的一端，所述導(dǎo)柱(7)的另一端滑動套接于導(dǎo)套(6)的內(nèi)腔中，所述導(dǎo)套(6)固定連接于研磨模具(1)的外側(cè)，所述研磨模具(1)與側(cè)板(12)之間還安裝有第二氣缸(11)，所述機架(10)的兩端固定連接于龍門架(3)的底部，所述龍門架(3)上固定連接有第一氣缸(2)，所述第一氣缸(2)的伸縮端通過轉(zhuǎn)軸(5)轉(zhuǎn)動連接有夾座(15)，所述夾座(15)內(nèi)夾持固定有待研磨的晶棒(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅加工用晶棒研磨裝置，其特征在于：所述導(dǎo)套(6)的內(nèi)腔中安裝有彈簧(8)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅加工用晶棒研磨裝置，其特征在于：所述研磨模具(1)呈半環(huán)形結(jié)構(gòu)，并相對設(shè)置，所述研磨模具(1)的內(nèi)壁上固定連接有一層研磨層(13)，且相對設(shè)置的研磨模具(1)的邊緣設(shè)置有彼此相互配合的定位銷(101)和定位孔(102)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅加工用晶棒研磨裝置，其特征在于：其中一個所述夾座(15)上的轉(zhuǎn)軸(5)的一端連接于電機(14)的輸出軸。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅加工用晶棒研磨裝置，其特征在于：所述晶棒(4)位于研磨模具(1)合模時的圓心處。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅加工用晶棒研磨裝置，其特征在于：所述機架(10)上安裝有收集槽(9)，所述收集槽(9)位于研磨模具(1)的正下方。
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