[實用新型]流量可控的高活性硒或硫裂解氣的產(chǎn)生裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720788079.8
• 申請日: 2017-07-01
• 公開（公告）號: CN207002837U
• 公開（公告）日: 2018-02-13
• 發(fā)明（設計）人: 孫云;李光旻;劉瑋;林舒平;周志強;張毅
• 申請（專利權）人: 安徽恒致銅銦鎵硒技術有限公司
• 主分類號: C23C14/58
• 分類號: C23C14/58;C23C14/06
• 代理公司: 蚌埠鼎力專利商標事務所有限公司34102
• 代理人: 張建宏,王玲霞

1.流量可控的高活性硒或硫裂解氣的產(chǎn)生裝置，其特征在于：包括蒸發(fā)器、裂解筒和節(jié)流片，所述的蒸發(fā)器由抗硒或硫腐蝕的材料制作；蒸發(fā)器內(nèi)設有熱輻射器、熱偶及傳導支柱，熱輻射器設在蒸發(fā)器的上半部，傳導支柱底部固定在蒸發(fā)器底壁上，熱偶固定在傳導支柱上；蒸發(fā)器外套有蒸發(fā)器熱屏蔽套；裂解筒固定在蒸發(fā)器的上方，與蒸發(fā)器之間靠連接鎖母連接；所述的裂解筒采用抗硒或硫腐蝕、并具有良好導熱性的材料制作，裂解筒外套有裂解熱屏蔽罩，裂解筒與裂解熱屏蔽罩之間有裂解加熱絲和裂解熱電偶；裂解筒與蒸發(fā)器的連接處還設有節(jié)流片，節(jié)流片上開有節(jié)流孔。

2.根據(jù)權利要求1所述的流量可控的高活性硒或硫裂解氣的產(chǎn)生裝置，其特征在于：所述的蒸發(fā)器呈圓筒狀，且上端收口。

3.根據(jù)權利要求1所述的流量可控的高活性硒或硫裂解氣的產(chǎn)生裝置，其特征在于：所述的熱輻射器是熱輻射燈或抗硒或硫腐蝕的加熱絲。

4.根據(jù)權利要求1所述的流量可控的高活性硒或硫裂解氣的產(chǎn)生裝置，其特征在于：所述的傳導支柱的材料是Mo、W、Ag、Al或石墨。

5.根據(jù)權利要求1所述的流量可控的高活性硒或硫裂解氣的產(chǎn)生裝置，其特征在于：所述的裂解筒的材料是Mo、W、石墨或BN。