[實用新型]一種擴散爐用的三氯氧磷源瓶支架

有效

• 申請號: 201720771056.6
• 申請日: 2017-06-29
• 公開（公告）號: CN207338411U
• 公開（公告）日: 2018-05-08
• 發明（設計）人: 張衡;蔣萬昌;郭夢龍;王海超
• 申請（專利權）人: 合肥海潤光伏科技有限公司;太倉海潤太陽能有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;F16M13/02
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本實用新型公開了一種擴散爐用的三氯氧磷源瓶支架，包括能夠擱置在所述擴散爐的恒溫槽上的板狀架體，所述架體上設有用于觀察所述恒溫槽內液位的觀察孔、添加/抽放所述恒溫槽內液體的進出液口、一個或多個能夠容置所述三氯氧磷源瓶的容置槽。本實用新型利用容置槽擱置三氯氧磷源瓶，避免源瓶傾斜，保證擴散效果，增加了擴散工序的安全性；利用容置槽擱置三氯氧磷源瓶，阻止三氯氧磷源瓶與水直接接觸，當源瓶意外破裂時不至于與水發生反應，保證安全；觀察孔方便日常檢查、觀察恒溫槽內液位；進出液口方便抽放恒溫槽內液體或向恒溫槽內添加新液；另外，觀察孔與進出液口可兼做提手使用，方便安裝拆卸該支架。

技術領域

本實用新型涉及擴散爐氣源柜設備技術領域，尤其涉及一種擴散爐用的三氯氧磷源瓶支架。

背景技術

在太陽能電池片的生產過程中，擴散為重要的工序，擴散后硅片的質量影響著電池片的主要性能。軟著陸擴散工藝流程中，需要將硅片連同石英托架一起放入石英管中。為了使擴散更穩定、PN結更均勻分布，必須保證爐管內工藝所需壓力穩定和氣密性良好。工藝第一步為負壓檢測步，就是用來檢測爐管的氣密性是否符合要求，若符合，則進行下一步；若不符合，則工藝終止，經檢查和調整氣密性后方可再次運行工藝。

擴散工藝管控中最主要的輸運氣體就是通入爐管內LN2，也就是氮氣攜帶POCl3的多少。反應過程利用POCl3熱分解時，生成P2O5和Cl2，P2O5進一步和Si反應生成磷單質，在高溫情況下向硅片內部擴散。所以通入此氣體的多少對擴散品質起著決定性的作用。在同一氣壓下為保證通入氣體絕對恒定，必須保證源瓶溫度恒定。所以將源瓶置于恒溫槽內，擴散爐氣源柜出廠時，擴散爐氣源柜上的恒溫槽只是一個槽子，傳統固定三氯氧磷源瓶的方式是：用PP板裁切、焊接成支架，將源瓶卡住。但是隨著源瓶內液位的減少，源瓶會受浮力漂起來，不僅會影響到擴散效果，而且存在很大的安全隱患；PP材質的支架長期泡在水中會產生很多的臟物，異物通過水循環進入循環管道內，極易造成恒溫槽循環泵的損壞。

有鑒于上述的缺陷，本設計人，積極加以研究創新，以期創設一種新型 結構的擴散爐用的三氯氧磷源瓶支架，使其更具有產業上的利用價值。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提出一種擴散爐用的三氯氧磷源瓶支架，固定三氯氧磷源瓶的同時，防止三氯氧磷源瓶傾斜，保證硅片擴散效果；同時減少恒溫槽損壞頻次，降低維修費用，而且保證三氯氧磷與水的絕對隔離，避免重大安全事故的發生。

為達此目的，本實用新型采用以下技術方案：

一種擴散爐用的三氯氧磷源瓶支架，包括能夠擱置在所述擴散爐的恒溫槽上的板狀架體，所述架體上設有用于觀察所述恒溫槽內液位的觀察孔、添加/抽放所述恒溫槽內液體的進出液口、一個或多個能夠容置所述三氯氧磷源瓶的容置槽。

進一步的，所述架體的材質為不銹鋼，所述容置槽通過沖壓所述架體形成。

進一步的，所述容置槽內徑大于所述三氯氧磷源瓶的外徑，所述容置槽的壁體上設有若干個能夠與所述三氯氧磷源瓶的瓶體接觸的凸起。

進一步的，所述凸起通過沖壓所述容置槽的壁體形成。

進一步的，所述凸起為曲面形狀。

進一步的，所述架體用于朝向所述恒溫槽的表面上還設有多個吸盤。

進一步的，所述架體用于朝向所述恒溫槽的表面上設有多個分別與各個所述吸盤的端部緊配合的固定孔。

進一步的，所述觀察孔為圓孔，所述進出液口為方孔。