[實用新型]晶片舟排片保護裝置

有效

• 申請號: 201720768759.3
• 申請日: 2017-06-28
• 公開（公告）號: CN207338330U
• 公開（公告）日: 2018-05-08
• 發明（設計）人: 李曉佳;王毅
• 申請（專利權）人: 揚州揚杰電子科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/67
• 代理公司: 揚州市蘇為知識產權代理事務所(普通合伙) 32283
• 代理人: 周全

晶片舟排片保護裝置；提供了一種結構緊湊、通用性高、防止晶片排片時破損的晶片舟排片保護裝置。包括本體和緩沖層，所述本體為工字型，所述緩沖層設置在所述本體的頂部，所述本體的頂部設有容置槽。實用新型通過本體上設置的容置槽放置晶片舟，容置槽的兩端設置的寬度根據晶片舟底部適配；利用緩沖層，防止晶片舟移動，達到保護晶片的效果，提升產品產出率，減少經濟損失；本案緩沖層采用硅膠層或乳膠層。本實用新型具有結構緊湊、通用性高、防止晶片排片時破損等特點。

技術領域

本實用新型涉及半導體加工工序，特別涉及晶片舟排片保護裝置。

背景技術

目前生產過程中晶片的排片往往在作業臺面上直接進行，排片時無緩沖材質，此類方式往往因沒有緩沖設施導致破片或排片時鐵氟龍舟自身移動而破片，對晶片造成極大傷害，進而影響產品的性能及破片率，造成經濟損失。

實用新型內容

本實用新型針對以上問題，提供了一種結構緊湊、通用性高、防止晶片排片時破損的晶片舟排片保護裝置。

本實用新型的技術方案是：包括本體和緩沖層，所述本體為工字型，所述緩沖層設置在所述本體的頂部，所述本體的頂部設有容置槽。

所述本體的兩側分別設有對稱設置的伸縮裝置。

所述伸縮裝置包括第一連接板和第二連接板，所述第一連接板上設有橫向的調節孔，所述第二連接板上設有定位栓，所述定位栓設置在調節孔內。

所述定位栓與第一連接板的連接面設有若干鋸齒。

所述伸縮裝置包括第三連接板和第四連接板，所述第三連接板通過第一彈簧與所述第四連接板連接。

所述本體的側面分別設有壓接裝置，所述壓接裝置包括筒體、螺栓和第二彈簧；所述筒體固定設置在所述本體的側面，所述第二彈簧套設在所述螺栓上，并設置在所述筒體的內腔，所述螺栓通過筒體上設置的螺紋旋轉運動。

本實用新型通過本體上設置的容置槽放置晶片舟，容置槽的兩端設置的寬度根據晶片舟底部適配；利用緩沖層，防止晶片舟移動，達到保護晶片的效果，提升產品產出率，減少經濟損失；本案緩沖層采用硅膠層或乳膠層。本實用新型具有結構緊湊、通用性高、防止晶片排片時破損等特點。

附圖說明

圖1是實施例一的結構示意圖；

圖2是圖1的俯視圖；

圖3是圖1 與4寸晶片舟裝配的結構示意圖；

圖4是圖1與3寸晶片舟裝配的結構示意圖；

圖5是實施例二的結構示意圖；

圖6是實施例三的結構示意圖；

圖7是實施例四的結構示意圖；

圖中1是本體，2是緩沖層，3是容置槽，41是第一連接板，42是第二連接板，43是調節孔，44是定位栓，51是第三連接板，52是第四連接板，53是第一彈簧，61是筒體，62是螺栓，63是第二彈簧，7是3寸晶片舟，8是4寸晶片舟。

具體實施方式

實施例一

本實施例如圖1-4所示，包括本體1和緩沖層2，所述本體1為工字型，所述緩沖層2設置在所述本體1的頂部，所述本體1的頂部設有容置槽3。

本體1上的緩沖層2采用彈性較強的硅膠層或乳膠層等，有效緩沖排片晶片的重力，防止排片時的誤操作，導致晶片碰損，造成經濟損失。緩沖層2設置在本體1頂部的中間區域。容置槽3呈工字型，用于容納晶片舟的底部；容置槽3的設置與晶片舟的頂部相適配，如圖3和圖4所述，通過改變4寸晶片舟8和3寸晶片舟7的放置方向，即可與容置槽3配合。

實施例二