[實用新型]高容差光柵讀數頭有效
| 申請號: | 201720755138.1 | 申請日: | 2017-06-27 |
| 公開(公告)號: | CN206919909U | 公開(公告)日: | 2018-01-23 |
| 發明(設計)人: | 劉紅忠;史永勝;尹磊;陳邦道 | 申請(專利權)人: | 常州瑞豐特科技有限公司 |
| 主分類號: | G01D5/38 | 分類號: | G01D5/38;G01B11/02 |
| 代理公司: | 蘇州廣正知識產權代理有限公司32234 | 代理人: | 張利強 |
| 地址: | 213000 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 高容差 光柵 讀數 | ||
1.一種高容差光柵讀數頭,其特征在于,包括:指示光柵、反射式主光柵和成像面,入射光照射到反射式主光柵上,在每條線紋反光處發生衍射現象,衍射光與入射光在指示光柵后方的Talbot平面處發生干涉成像得到Talbot成像面,由半導體感光元件接收到信號。
2.根據權利要求1所述的高容差光柵讀數頭,其特征在于,所述的指示光柵為三維結構化的相位光柵。
3.根據權利要求2所述的高容差光柵讀數頭,其特征在于,所述的指示光柵的正面為鍍鉻區,具有周期性變化的柵狀結構,背面為正弦曲面。
4.根據權利要求2所述的高容差光柵讀數頭,其特征在于,所述的指示光柵的正面為鍍鉻區,具有周期性變化的柵狀結構,背面為臺階面,指示光柵的厚度為1-5mm。
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