[實(shí)用新型]多頻率的壓電超聲發(fā)生器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720717544.9 | 申請日： | 2017-06-20 |
| 公開（公告）號： | CN206997020U | 公開（公告）日： | 2018-02-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王德波;李江南;張煥卿 | 申請（專利權(quán)）人： | 南京郵電大學(xué) |
| 主分類號： | B06B1/06 | 分類號： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司32200 | 代理人： | 劉莎 |
| 地址： | 210023 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 頻率 壓電 超聲 發(fā)生器 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.多頻率的壓電超聲發(fā)生器，其特征在于，該壓電超聲發(fā)生器以硅為襯底，在硅襯底上設(shè)有MEMS懸臂梁下拉電極和MEMS懸臂梁橋墩；所述MEMS懸臂梁橋墩上設(shè)有MEMS懸臂梁陣列，所述MEMS懸臂梁陣列中的每個MEMS懸臂梁的一端固定在MEMS懸臂梁橋墩上，另一端為自由端；每個MEMS懸臂梁下方分別設(shè)置一個MEMS懸臂梁下拉電極，每個MEMS懸臂梁下拉電極上設(shè)置有壓電材料層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多頻率的壓電超聲發(fā)生器，其特征在于，MEMS懸臂梁陣列中的每個MEMS懸臂梁長度均不相同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多頻率的壓電超聲發(fā)生器，其特征在于，MEMS懸臂梁陣列中的MEMS懸臂梁數(shù)目為5。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多頻率的壓電超聲發(fā)生器，其特征在于，所述硅襯底為高阻硅SOI襯底。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多頻率的壓電超聲發(fā)生器，其特征在于，壓電材料為ZnO。
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