[實用新型]電極板輔助安裝裝置

有效

• 申請號: 201720613727.6
• 申請日: 2017-05-27
• 公開（公告）號: CN206961790U
• 公開（公告）日: 2018-02-02
• 發明（設計）人: 張帆
• 申請（專利權）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01J37/04
• 代理公司: 上海波拓知識產權代理有限公司31264
• 代理人: 楊波

技術領域

本實用新型涉及輔助安裝治具技術領域，尤其涉及一種電極板輔助安裝裝置。

背景技術

離子注入機屬于高精度設備，注入機的電極板又與拉出波束的質量有很大關系，所以電極板定期更換屬于離子注入機保養及維護的一個重要項目。

目前離子注入機的離子源部分三個月保養一次，電極板隨之更換，一次更換的數量為四塊電極板，電極板安裝時要求的精度高(允許誤差在正負0.1mm)，對位比較困難，并且四塊電極板之間間隙與對位要求非常高，極小的偏差就會對波束的均一性造成影響。

現電極板安裝，基本依靠人力和操作人員的經驗，很難達到精準對位，需要花費大量的人力和時間，容易出錯，還會造成電極板表面損傷，縮短電極板使用壽命；另外，在更換電極板時，長時間安裝會導致整個產線停滯，降低設備的正常運行時間，對工藝性能有很大影響。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種電極板輔助安裝裝置，能夠縮短電極板的安裝且能夠對電極板進行精確安裝。

本實用新型實施例提供一種電極板輔助安裝裝置，包括基板、、電機、微調電機及安裝在所述基板上的夾具，所述微調電機用于控制所述夾具的移動，其中，所述電機包括用于控制所述夾具張合的第一電機。

進一步地，所述微調電機包括用于控制所述夾具在豎直方向上上下移動的第一微調電機。

進一步地，所述微調電機還包括用于控制所述夾具在水平方向上左右移動的第二微調電機。

進一步地，所述微調電機還包括用于控制所述夾具在水平方向上前后移動的第三微調電機。

進一步地，所述電機、所述第一、第二和第三微調電機及所述夾具均安裝在所述基板的同一面上。

進一步地，還包括安裝在所述基板端部的伸縮支架，所述伸縮支架用于在豎直方向上支撐所述基板，所述電機還包括用于控制所述伸縮支架伸縮的第二電機。

進一步地，所述電機還包括用于控制所述基板立與臥的第三電機。

進一步地，所述基板的另一個面上還安裝有滾輪，所述電機還包括用于控制滾輪轉動的第四電機。

進一步地，所述電極板輔助安裝裝置還包括控制手柄，所述控制手柄上設有用于控制所述電機與所述微調電機作動的控制鍵。

進一步地，每個夾具上設有用于感測所述夾具與電極板安裝腔之間距離的傳感器，所述控制手柄上還設有用于顯示所述傳感器感測數據的顯示屏。

本實用新型的電極板輔助安裝裝置通過在基板上設置第一電機、夾具、微調電機，第一電機控制夾具張合以便于夾具夾取電極板，微調電機控制夾具移動以對夾具的位置做出微調，從而實現對電極板位置的精確調整，進而實現電極板的精確安裝，同時，本實用新型的電極板輔助安裝裝置無需人力安裝電極板，只需人力通過控制手柄控制即可，節省人力同時節約時間。

附圖說明

圖1是本實用新型的電極板輔助安裝裝置的正視圖。

圖2是本實用新型的電極板輔助安裝裝置的側視圖。

圖3是本實用新型的電極板輔助安裝裝置的的俯視圖。

圖4是本實用新型的電極板輔助安裝裝置的控制手柄的正視圖。

具體實施方式

為更進一步闡述本實用新型為達成預定實用新型目的所采取的技術方式及功效，以下結合附圖及實施例，對本實用新型的具體實施方式、結構、特征及其功效，詳細說明如后。

請結合參閱圖1-3，本實用新型實施例提供一種電極板輔助安裝裝置，包括基板1、、電機、用于控制夾具2移動的微調電機及安裝在基板1上的夾具2。其中，電機包括用于控制夾具2張合的第一電機M1。

具體地，在本實施例中，微調電機包括用于控制夾具2在豎直方向上上下移動的第一微調電機M2，以控制夾具2在豎直方向的位置微調。

在本實施例中，微調電機還包括用于控制夾具2在水平方向上左右移動的第二微調電機M3，以控制夾具2在水平方向上左右位置的微調。

在本實施例中，微調電機還包括用于控制夾具2在水平方向上前后移動的第三微調電機M4，以控制夾具2在水平方向上前后位置的微調。

在本實施例中，本實用新型的電極板輔助安裝裝置還包括安裝在基板1的端部(具體例如安裝在基板1的側端)的伸縮支架3，伸縮支架3用于在豎直方向上支撐基板1，電機還包括用于控制伸縮支架3伸縮的第二電機M5，以調整基板1根據電極板安裝腔的高度，調整基板1在豎直方向上的高度。