[實用新型]一種氮化鎵多胞功率管結構

有效

• 申請號: 201720576786.0
• 申請日: 2017-05-23
• 公開（公告）號: CN206789548U
• 公開（公告）日: 2017-12-22
• 發明（設計）人: 孔欣
• 申請（專利權）人: 成都海威華芯科技有限公司
• 主分類號: H01L29/778
• 分類號: H01L29/778;H01L23/528;H01L23/58
• 代理公司: 成都華風專利事務所(普通合伙)51223
• 代理人: 徐豐

1.一種氮化鎵多胞功率管結構，其特征在于，包括：至少兩個氮化鎵功率單元，每個氮化鎵功率單元包括柵PAD、漏PAD、兩個接地背孔以及器件有源部分，其中，器件有源部分包括柵指、源端以及漏端，柵指通過柵饋線連接至柵PAD，源端通過空氣橋與兩個接地背孔相連，漏端連接至漏PAD，所述至少兩個氮化鎵功率單元并排設置，相鄰的氮化鎵功率單元的相鄰接地背孔重疊，柵饋線部分重疊，至少兩個氮化鎵功率單元形成的多胞功率管結構中，兩端的氮化鎵功率單元未重疊的柵饋線的延伸端分別連接叉指電容，所述叉指電容另一端連接柵互連PAD。

2.根據權利要求1所述的氮化鎵多胞功率管結構，其特征在于，在相鄰的氮化鎵功率單元的重疊的柵饋線之間設置有薄膜電阻。

3.根據權利要求1所述的氮化鎵多胞功率管結構，其特征在于，在所述至少兩個氮化鎵功率單元形成的多胞功率管結構的四周圍繞布置劃片道。

4.根據權利要求1所述的氮化鎵多胞功率管結構，其特征在于，所述氮化鎵功率單元具體為多柵指器件，柵指數為8-12個，單指柵寬為150-350μm，源端、漏端的寬度均為25-35μm，源端和漏端間距為5-7μm，源端和柵指間距為1.0-2.0μm。

5.根據權利要求1所述的氮化鎵多胞功率管結構，其特征在于，所述接地背孔的直徑為60-100μm。

6.根據權利要求1所述的氮化鎵多胞功率管結構，其特征在于，所述叉指電容的叉指數目為4-10個，電容值為幾百fF至幾十pF。