[實用新型]一種可在不同襯底塊同步生長的兩用MOCVD襯底架托盤結構有效

申請號：	201720575271.9	申請日：	2017-05-23
公開（公告）號：	CN206992077U	公開（公告）日：	2018-02-09
發明（設計）人：	宋亞峰;楊超普;曹娜;宋如普;蘇淑英;宋亞光	申請（專利權）人：	商洛學院;宋亞峰
主分類號：	H01L21/687	分類號：	H01L21/687;C23C16/458
代理公司：	北京科億知識產權代理事務所(普通合伙)11350	代理人：	湯東鳳
地址：	726000 陜***	國省代碼：	陜西;61
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關鍵詞：	一種不同襯底同步生長兩用 mocvd 托盤結構
鉆瓜網技術展會專利詞庫專利權人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【權利要求書】：

1.一種可在不同襯底塊同步生長的兩用MOCVD襯底架托盤結構，其特征在于：包括石墨托盤、襯底架外框片槽、襯底外框安裝留槽、襯底架石墨外框、石墨襯底架、方形片槽、襯底塊安裝留槽、方塊襯底，圓形襯底和石墨墊片，所述石墨托盤上設置有三個正六邊形的襯底架外框片槽，所述襯底架外框片槽的邊緣上設置多個所述襯底外框安裝留槽，所述襯底架石墨外框為三個，三個所述襯底架石墨外框位于所述襯底架外框片槽內，所述石墨襯底架為圓形，所述石墨襯底架位于所述襯底架石墨外框內，所述石墨襯底架內的底部設置所述石墨墊片，所述石墨墊片上設置有所述圓形襯底，所述圓形襯底上設置有四個正方形的方形片槽，所述方形片槽的邊緣設置所述襯底塊安裝留槽，所述方塊襯底位于所述方形片槽內。

2.根據權利要求1所述的一種可在不同襯底塊同步生長的兩用MOCVD襯底架托盤結構，其特征在于：所述方形片槽的一側且位于所述圓形襯底上設置有襯底編號刻碼。

3.根據權利要求1所述的一種可在不同襯底塊同步生長的兩用MOCVD襯底架托盤結構，其特征在于：所述襯底架外框片槽的一側且位于所述石墨托盤上設置有襯底架片槽編號刻碼。

下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。

免登錄下載普通用戶下載升級VIP會員，免費下載

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于商洛學院;宋亞峰，未經商洛學院;宋亞峰許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】

本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201720575271.9/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。