[實用新型]一種芯片剝膜機

有效

• 申請號: 201720572999.6
• 申請日: 2017-05-22
• 公開（公告）號: CN207068801U
• 公開（公告）日: 2018-03-02
• 發明（設計）人: 謝崇平;王小波;謝磊;劉磊;章維鵬
• 申請（專利權）人: 無錫芯坤電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于芯片加工裝置技術領域，具體涉及一種芯片剝膜機。

背景技術

芯片切割保護膜，晶圓研磨定位保護膜之一：UV膜，又名UV失膠膠帶、UV減粘膠帶，UV膠帶是一種在特殊薄膜上涂上常態上顯示高勁粘接力在芯片，但是經過紫外線照射后粘接力急劇下降。在現有的芯片加工過程中，需要對底膜上的芯片顆粒進行分離，現有的分離設備需要人工手動壓住底膜，剝膜效率低，由于底膜通過粘合劑與芯片進行粘合，而現有的剝離設備不能有效的結合紫外光線對粘合劑照射來降低粘性，導致剝離效率底。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種芯片剝膜機，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種芯片剝膜機，包括活動架和紫外光發生器，所述活動架的底部滑動連接于滑套，所述滑套通過支桿固定在機架內，所述活動架上轉動連接有絲桿，所述絲桿的一端連接于電機，所述絲桿上安裝有滑塊，所述滑塊通過固定桿固定連接于夾板，所述活動架的一端通過第一彈簧連接于機架的一端，所述活動架的另一端上方固定連接有刮板，所述活動架的底部固定連接有頂板，所述活動架上還安裝有放料輥，所述機架上固定連接有導柱，所述導柱上安裝有紫外光發生器，所述機架內安裝有主動輥，所述機架內還安裝有導料槽，所述機架上安裝有控制開關。

優選的，所述活動架上還固定連接有與絲桿平行的滑竿，所述滑竿滑動連接于固定桿。

優選的，所述活動架上還放置有托板。

優選的，所述機架內安裝有凸輪，所述凸輪與頂板相抵，所述凸輪的轉軸固定連接于搖桿。

優選的，所述活動架上安裝有從動輥，所述從動輥與主動輥間隙相對設置，所述主動輥連接于另一個電機的輸出端。

優選的，所述控制開關分別電性連接于紫外光發生器電機，所述紫外光發生器內安裝有紫外光燈，所述紫外光發生器的底部邊緣由外側至內測分別固定連接有一圈密封條和壓邊，所述紫外光發生器的兩端設置有側板，所述側板滑動連接于導柱，所述導柱上套接有第二彈簧。

優選的，所述夾板包括上夾板和下夾板組成，下夾板與固定桿頂部固定連接，上夾板通過鎖緊螺母固定在下夾板上，所述夾板內夾持固定有收集膜。

本實用新型的技術效果和優點：該芯片剝膜機，通過紫外光發生器發出紫外光線對底膜進行照射，有效的降低底膜的粘性，有利于提高芯片剝離的效率，提高芯片的分離質量，剝離下來的芯片隨著收集膜一同移動，保持原有芯片的排列順序。

附圖說明

圖1為本實用新型的俯視結構示意圖；

圖2為本實用新型的側視結構示意圖；

圖3為本實用新型的圖2中A處放大結構示意圖；

圖4為本實用新型的紫外光發生器結構示意圖。

圖中：1第一彈簧、2夾板、3活動架、4搖桿、5控制開關、6機架、7導料槽、8紫外光發生器、801密封條、802壓邊、803紫外光燈管、804側板、9刮板、10絲桿、11電機、12滑竿、13頂板、14凸輪、15滑套、16主動輥、17從動輥、18滑塊、19固定桿、20托板、21鎖緊螺母、22收集膜、23導柱、24第二彈簧、25放料輥。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

本實用新型提供了如圖1-4所示的一種芯片剝膜機，包括活動架3和紫外光發生器8，所述活動架3的底部滑動連接于滑套15，所述滑套15通過支桿26固定在機架6內，所述活動架3上轉動連接有絲桿10，所述絲桿10的一端連接于電機11，所述絲桿10上安裝有滑塊18，所述滑塊18通過固定桿19固定連接于夾板2，所述活動架3的一端通過第一彈簧1連接于機架6的一端，所述活動架3的另一端上方固定連接有刮板9，所述活動架3的底部固定連接有頂板13，所述活動架3上還安裝有放料輥25，所述機架6上固定連接有導柱23，所述導柱23上安裝有紫外光發生器8，所述機架6內安裝有主動輥16，所述機架6內還安裝有導料槽7，所述機架6上安裝有控制開關5。

進一步的，所述活動架3上還固定連接有與絲桿10平行的滑竿12，所述滑竿12滑動連接于固定桿19，有利于保持固定桿19沿著絲桿10移動的穩定性。